中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #158592 を販売中

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ID: 158592
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Non-patterned wafer inspection system, 8" Can accommodate wafers from diameter, 2"-8" Sensitivity-particle: 117 Micro-meter diameter Latex spheres with >90% capture rate Haze: 1 ppm Minimum Cassette to cassette handling Defect sensitivity: 0.09 um dia PSL Sphere equivalent with greater than 80% capture rate Haze: Sensitivity: 0.02 ppm Minimum Resolution: 0.002 ppm Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation Throughput: 100 WPH (200 mm) at 0.12 um Contamination: Less than 0.005 particles/cm² greater than 0.15 mm dia per single pass Illumination source: 30mW Cassette handling: Single puck wafer handling from two cassettes (One sender / Receiver, one receiver) Electrical requirements: 200-240V, 50/60 Hz, 2 kVA 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体業界の高まる正確で信頼性の高い再現可能な計測ニーズをサポートするために設計された次世代ウェハテストおよび計測機器です。KLA 6220 Surfscanの洗練された設計により、大規模なウェハハンドリングと高レベルのスループットが可能になり、部品、部品、サービスの数を削減することが必要となり、コスト削減と効率の向上という究極の目標をサポートします。TENCOR 6220 Surfscanは、デュアル軸光学システムと超精密なモーションステージを備え、ウェーハ表面のダイナミックなライブイメージングを、高い空間分解能で実現します。このユニットには、直感的でカスタマイズ可能なタッチユーザーインターフェイスと、測定結果が正確で繰り返し可能であることを保証する自動解析アルゴリズムの包括的なライブラリが含まれています。6220 Surfscanは、さまざまな要件に対応するために、高い精度と精度でさまざまな試験、計測、およびイメージング作業を処理できます。計測機は、単一のスキャンで複数のレイヤーまたは異なる材料を測定し、高度なフーリエ変換プロファイル(FT-PROF)を使用してウェーハ表面の3D情報を収集することができます。さらに、KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、統合されたキャリブレーションツールと包括的な計測ツールを備えており、ウェハ上のほぼすべての表面を高精度で包括的に評価および分析できます。KLA 6220 Surfscanは、複雑な表面、半導体デバイス、およびその他のマイクロエレクトロニクス部品を特性評価および測定するために必要な性能を提供するように設計されています。このアセットには、ウェーハローディングモジュールと、ウェーハサーフェスの精密かつ再現可能なスキャンを可能にする高精度のモーションステージが含まれています。ソフトウェアパッケージは、高度な画像取得、画像処理、分析機能を提供し、コンポーネントおよびデバイスの特性評価、故障解析、機能解像度などのさまざまなアプリケーションをサポートします。このモデルは、複数のレイヤーまたは異なる材料を1つのスキャンで正確に測定することができます。また、特徴認識や解析などの高度なイメージング作業を実行することで、手作業による検査時間を短縮し、生産性を最大化することができます。要するに、TENCOR 6220 Surfscanは強力で汎用性の高いウェハテストおよび計測機器であり、優れた性能を提供し、1つのスキャンでマイクロエレクトロニクス部品および表面の特徴を正確かつ確実に測定します。直感的なユーザーインターフェイスと6220 Surfscanの正確なモーションステージは、高レベルのスループットと柔軟性を提供します。一方、高度なイメージングおよび分析機能により、信頼性が高く、再現性が高く、正確な結果が得られます。
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