中古 KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951 を販売中
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販売された
ID: 139951
ウェーハサイズ: 4" - 8"
ヴィンテージ: 1996
Inspection system, 4" - 8"
Specifications:
Sensitivity:
0.09 ㎛ at > 80% Capture rate
( latex spheres on bare silicon )
Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛
Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres
Illumination:
Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm
Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples
Configuration:
Wafer Size: 100mm ~ 200 mm
Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz
Main Frame:
CRT Monitor
Keypad
Mouse
FDD
Cassette plate
System Controller Card Cadge
. Slot 1 Video Card
. Slot 2 N/A
. Slot 3 CPU Board
. Slot 4 Timing Generator Board
. Slot 5 Haze Separator Board
. Slot 6 Particle Area Processor Board
. Slot 7 N/A
. Slot 8 GPIO Board
. Slot 9 Motor Controller Board
. Slot 10 SECS Board
. Slot 11 Ethernet Card
. Slot 12 N/A
. Slot 13 N/A
HDD ( -2-EA )
Laser Power Supply
Uniphase Laser ( 2214-30SLT )
Mainn Cucirt Breaker
Cassette Plate
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscanは、半導体ウェーハの高速かつ信頼性の高い処理を可能にするように設計された自動ウェーハ試験および計測装置です。表面およびサブサーフェスフィルムの厚さ、平坦度、表面の質感、ピーク・ツー・バレー、表面反射率、欠陥の有無など、幅広いウエハーパラメータを測定することができます。このシステムは、3次元、低力の光センシングヘッドを使用して、1時間あたり最大20ウェーハを測定することができます。KLA 6220サーフスキャンユニットは、最も困難な測定を確実に処理するように設計された耐久性のある耐腐食性ハウジングで構成されています。機械の構造はモジュール式で、ユーザーのニーズに合わせて柔軟に構成できます。また、高度なハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントを備えており、高精度の測定を保証します。このツールは、短いピッチ干渉の光学原理を介して動作し、真空生成されたレーザービームの干渉がウェーハの下層層をプローブしてから、フォトデテクタに反射して分析します。これは、5nmまでの精度で表面およびサブサーフェスフィルムの厚さを測定するだけでなく、ウェーハの表面下を含む欠陥を検査します。アセットのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は直感的で、リアルタイム測定からさまざまな指標をユーザーに提供します。その後、この情報をフィードバックとして使用して、ウェーハ製造プロセスのパラメータ設定と性能に関する情報に基づいた決定を行うことができます。TENCOR 6220 Surfscanは、さまざまな生産環境に適した、自動化された堅牢なウェーハ試験および計測モデルです。複数のウェーハを同時に高速・高信頼性・高精度にテストすることで、プロセス時間を短縮し、製品品質を向上させることができるように設計されています。そのため、効率的で信頼性が高く、費用対効果の高いウェーハテストソリューションをお探しのお客様に最適なソリューションです。
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