中古 KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434 を販売中

KLA/TENCOR 6210サーフスキャンマシンは、半導体業界で使用されるハイエンドウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、表面の均一性やミクロン範囲の幾何学的パラメータなど、ウェーハの重要なプロセス詳細を正確に測定することができます。プロセス速度と忠実度を確保するために、デバイス製造の非常に初期段階でも、これらのパラメータに関する正確なデータを取得することができます。KLA 6210 Surfscanは、高解像度の三角測光ベースの光学計測技術を使用して、ウェハ全体とインサイドダイの両方の特性を高い精度で測定します。このユニットは、非接触、高スループット、再現性、および信頼性の高い操作のために設計されています。機械によって生成される測定値の精度は、高精度カメラ、光学、照明システムとともに、機械の横方向スキャン機能のおかげで保証されています。さらに、このマシンは、ユーザーの介入なしで簡単にさまざまな計測測定を実行する柔軟性を提供します。最高精度の測定を保証するために、TENCOR 6210 Surfscanはレーザー干渉測定ツールで設計されています。このアセットは、ウェハ表面の0。1ナノメートル程度の微小な変化を測定することができます。スキャン速度も調整可能で、優れた精度を維持しながら0。25〜7mm/sまで変化します。これにより、動きの速いウェーハ表面を測定することがより便利になります。モデルによって収集されたデータは、さまざまな半導体プロセスの特性評価と最適化、および自動欠陥分類に使用されます。装置からの読み出しにより、故障解析も可能になり、プロセスフローの改善とコストの削減に役立ちます。6210 Surfscanは接続性の容易さのためにまた設計されています、データの容易な操作のための他のシステムとの統合を可能にします。このマシンには、直感的なワークフローを提供するユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスもあります。結論として、KLA/TENCOR 6210 Surfscanウェーハ試験および計測システムは、デバイス製造の非常に初期段階であっても、ウェーハ表面の正確で信頼性の高い測定を可能にする強力なツールです。また、レーザー干渉計ユニットを内蔵しており、ウェハ表面の非常に小さな変化を正確に測定することができます。さらに、簡単な接続性とユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスにより、他のシステムとの統合が容易になり、収集されたデータを利用できます。