中古 KLA / TENCOR 6200 #64476 を販売中

KLA/TENCOR 6200は、迅速なプロセス監視と高速データ分析を提供するように設計されたウェハテストおよび計測機器です。KLA 6200は、ウェーハの表面と厚さの特性を測定し、大量のデータを処理し、異常を特定し、複数のサンプルをソートして追跡することができる自動化システムです。ユニットには、ウェーハサポートプラットフォームであるカセットとローダーがあり、ウェーハがロードされてアンロードされます。TENCOR 6200には、白色光干渉計（SLIM）、散乱計、光反射計、散乱光度計、3Dサーフェスプロファイラなど、多くの計測ツールが搭載されています。SLIMは、ウェーハ表面の大気汚染のリスクを低減するために、大気加圧で動作します。さらに、6200は非接触計測と接触計測の両方を実行できます。データ分析とステータス監視のために、KLA/TENCOR 6200はKLA IntelliWafersソフトウェアと統合されています。IntelliWafersは、ウェーハ検査データを準備、分析、報告するために設計された統合ソフトウェアアプリケーションのスイートです。プロセスウェーハの自動統計分析やリアルタイムプロセスモニタリングなど、包括的な機能を提供します。IntelliWaferは、重要なプロセスメトリクスのインサイトを提供するレポートとデータプロット、およびプロセスのバリエーションや異常の傾向を生成できます。スループットの面では、KLA 6200は毎時300個までテストできます。また、インラインとオフラインの両方の様々な他のシステムに簡単に統合することができます。さらに、アスペクト比の高いウェーハのテストなど、さまざまなアプリケーションの要求に対応するように構成することができます。要するに、TENCOR 6200は、迅速なプロセス監視、高速なデータ分析、包括的なレポートを提供できる、効率的なウェーハテストおよび計測機です。その豊富な機能により、さまざまなアプリケーションに適しており、高速スループットにより大量のデータを迅速に処理できます。最後に、このツールはIntelliWafersソフトウェアと統合されており、統計分析、リアルタイムのプロセス監視、包括的なデータ分析を自動化します。