中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #9303158 を販売中

ID: 9303158
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1995
Non-pattern surface inspection system, 4"-8" PSL Calibration Defect sensitivity: 0.1 Micron (PSL STD) Haze sensitivity: 0.02 PPM Haze resolution: 0.002 PPM Accuracy within 1% XY Coordinates Lock down accessories Blower assembly Ar-Laser: 30mW Power supply: 208V, 60Hz, 17A 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、さまざまな研究および生産アプリケーション向けに設計された洗練されたウェーハ試験および計測機器です。これは、比類のない精度と再現性のある結果を提供し、ユーザーは比類のない精度でウェーハ表面の特徴のサイズ、形状、深さを測定することができます。このシステムは、革新的なデュアルビームレーザー干渉計を使用して、ナノメートルレベルの解像度で電気光学測定を提供します。ピット、バンプ、傷、腐食、ステップ、バリなどの特徴をナノメートルレベルのディテールで測定することができます。このユニットは、ウェーハ表面のフィーチャーの深さ、サイズ、形状をミリ秒以内に決定する自動パス/フェイル評価機能を提供し、効率的なワークフローと時間節約の結果を可能にします。KLA 6200 Surfscanは高速動作用に設計されており、数秒で完全なウェハスキャンが可能です。これは、ユーザーがデータを迅速に分析できるように設計された幅広いハードウェアおよびソフトウェアツールを備えています。このマシンには、ホストPC、 VMEベースのコントローラボード、およびSurfscan 5200温度制御ウェーハ検査室が含まれています。また、最小限の手動入力で正確な結果を提供するように設計された高度なイメージングおよび解析アルゴリズムも含まれています。TENCOR 6200 Surfscanは、広い領域を素早くスキャンできる自動スキャン機能も備えています。また、画像・データ解析機能も充実しており、リアルタイムに情報を確認・分析することができます。このツールは、多くの業界標準のCADシステムおよび計測ソフトウェアパッケージと互換性があり、データと結果を既存の製品やサービスに簡単に統合できます。PROMETRIX 6200 Surfscanは、今日市場で入手可能な主要なウェーハテストおよび計測システムの1つとして尊敬されています。スピード、精度、再現性を兼ね備えているため、さまざまな研究および生産アプリケーションに最適です。高度なハードウェアとソフトウェア機能により、マニュアル入力を最小限に抑えて正確で信頼性の高い結果を提供できます。これにより、6200 Surfscanはウェーハ検査に最適です。
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