中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293831075 を販売中

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscanは、比類のない精度、速度、パフォーマンスで高度な計測および欠陥レビューを可能にするウェハテストおよび計測機器です。それは業界で最も正確で正確なシステムです。KLA 6200 Surfscanは、超高解像度の充電結合デバイスカメラと専用のカスタムデザインのビームコラム光学モジュールを使用して、これまでにないウェハ検査、欠陥検出および特性評価、および測定精度と一貫性を実現します。このユニットはまた、10 µm/s以上の速度で、非常に高速なスキャナを備えています。また、最大12インチの直径を持つウェーハにも対応できます。TENCOR 6200 Surfscanは、光学計測、欠陥レビュー、および計測安定性解析と、これまでにない精度、精度の安定性、再現性を組み合わせています。この高度な機械は、線の幅、スペースの幅、パッドとビアの直径、ラインのエッジの粗さなど、フラット面とパターン面の両方でさまざまな特徴の重要な寸法を測定することができます。また、欠陥解析や粒子解析のための強力なイメージング機能、欠陥特性評価および分類のための高度なソフトウェアを備えています。PROMETRIX 6200 Surfscanの高度なアルゴリズムは、3D光学粗さ測定、粒子分析（表面汚染物質）、厳しいインライン検査要件など、いくつかの重要な機能を可能にします。このツールはまた、ストリップおよびグレーティング測定、3Dラインプロファイル測定、パターン化されたウエハ解析、基本的および高度な欠陥レビューなど、幅広いテスト測定を提供します。全体として、6200 Surfscanは、正確で正確なウェーハテストと計測を必要とするメーカーにとって優れた選択肢です。その強力なスキャン機能、イメージング機能、高度なアルゴリズムにより、さまざまな測定および欠陥レビューが可能になり、幅広いアプリケーションに理想的な資産となります。