中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293827087 を販売中

KLA/TENCOR SFS 6200は、半導体製造プロセスに関わるウェーハの検査、監視、測定を行うために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、信頼性が高く効率的なウェーハテストと計測ソリューションを可能にする高度な機能を備えています。このシステムのTrueSpectrum™分光技術は、高度なリソグラフィープロセスのさまざまな材料を含む、あらゆる基板の迅速かつ正確なスペクトル分析を提供します。この技術は、金属誘電性化合物やダイツダイ遷移など、従来の方法では検査が困難な材料を測定することができます。また、ウェーハ検査プロセスを精度よく自動化するための高度なViewScan™スキャン機構を備えています。KLA SFS 6200は、半導体デバイスの製造プロセスを制御する上で貴重なツールとなるインプロセス計測機能を提供します。また、さまざまな画像解析および欠陥分類ツールが付属しており、プロセスのバリエーションやウェーハの健康状態を追跡するために使用できます。操作面では、TENCOR SFS6200のWindows-ベースのSOPソフトウェアにより、マシンの構成とプログラムを簡単に行うことができます。また、広範なネットワーク機能を提供しているため、パラメータを検証および分析するための他のデバイスやプロセスに接続できます。TENCOR SFS 6200は、最新の半導体産業の要求を満たす信頼性の高い汎用性の高いウェハテストおよび計測ツールです。その高機能により、高精度な測定を提供し、最先端のリソグラフィーシステムのプロセス制御を向上させることができます。この資産は、製造プロセスを制御し、コストのかかるプロセス変動を排除する半導体メーカーにとって貴重なツールです。