中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293808873 を販売中

KLA/TENCOR SFS 6200は、あらゆるタイプの半導体ウェーハのインラインおよびパススルーの自動検査および計測を提供するウェーハ試験および計測機器です。強力でフル機能、高度なイメージング機能と高いスループットを備えています。このシステムで使用される革新的な技術により、迅速で正確で信頼性の高い試験、検証、および分析が可能になります。KLA SFS 6200には、自動画像取得、ウェハスキャン、検査ツールの包括的なスイートが付属しています。複数のイメージング技術とアルゴリズムを組み合わせてウェーハの幅広い欠陥を検索することができます。このユニットは、自動欠陥フィルタ機能を備えており、微妙な欠陥を検出し、欠陥を分類することができます。また、正確な場所と欠陥の決定のための正確で強力な3Dスキャンヘッドを提供しています。本機は、高品質で高速なCCDカメラを使用し、最大1。3 μ mの解像度でブライトフィールドとダークフィールドの両方の画像を取得します。ツールに埋め込まれた高度な画像解析アルゴリズムは、優れた画像処理、欠陥分類、および正確なエッジ検出機能を提供できます。また、薄膜計測などの非破壊試験も可能なため、ウェハの薄型化や背面研削工程に適しています。TENCOR SFS6200は、正確な欠陥特性評価に必要な高解像度の3D画像やパターンをキャプチャ、分析、表示できる高度なビジョンモデルを搭載しています。この高度なビジョン装置は、リアルタイムイメージング技術を使用して誤報を低減し、検証サイクル時間を短縮します。また、強力な光源、エッジアライメント、ウェーハトラッキングセンサーを備えており、ウェーハエッジと欠陥検出を正確に行うことができます。また、TENCOR SFS 6200は高度なレポート機能を備えているため、ユーザーは迅速かつ簡単にウェーハテスト結果を得ることができます。検査アルゴリズムをカスタマイズし、すべての品質保証要件を満たすカスタマイズされたレポートを作成するための洗練されたツールが含まれています。さらに、このユニットは信頼性が高く、17年以上の生産実績があります。全体として、KLA SFS6200はウェーハテスト、検査、計測のための高度な自動化機械です。高度なイメージング機能、自動欠陥フィルタリング機能、非破壊検査機能を備えているため、ユーザーはウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出できます。さらに、このツールは信頼性が高くカスタマイズ可能で、詳細なレポート機能をユーザーに提供します。