中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293804327 を販売中
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KLA/TENCOR SFS 6200は、1つのパッケージで提供される重要な電気パラメータの高速かつ正確なインダイ測定を可能にする自動ウェーハ試験および計測機器です。半導体製造プロセス向けに設計されており、ウェーハとロットにわたって正確なダイレベル性能を提供し、ウェーハの歩留まりを最適化します。KLA SFS 6200は、オンダイおよびチャンネルレベルでの電気測定のためのさまざまな非接触プローブと精密センシング技術を備えています。これにより、設計サインオフ解析の精度と再現性が向上します。TENCOR SFS6200は、数時間ではなく数分でテストを実行するための迅速なスループットを提供し、製品の市場投入までの時間を短縮します。統合ステージオートメーションは、KLA Traumatic™ Yield Analysis (TYA)およびMetrologyX™ツールを組み込んだウェハレベルのソフトウェアの完全なスイートによって補完され、ウェハレベルのテストと処理のために提供されます。Traumatic Yield Analysisを使用すると、TENCOR独自の技術により、金型内の潜在的なツールマッチングとプロセスの問題を詳細に明らかにすることができるビンニングフリーの歩留まり解析を提供します。MetrologyX™ツールは、これまで測定できなかったポイントでの詳細な測定を提供することにより、ビニング結果の追加精度と統計的信頼度を提供します。KLA SFS6200には、パラメトリック、混合信号および故障解析機能を備えたSystem 9™ソフトウェア、ウェーハ欠陥の詳細な視覚的解析を提供する強力な欠陥レビューパッケージ、データ分析および操作のためのオフライン解析スイートが装備されています。信頼性試験のために、このユニットは統合されたTestManager™機能を備えており、お客様はテストとテスト計画を自動的に実行して、高速で信頼性が高く自動化されたテストに使いやすいマシンを提供できます。全体として、TENCOR SFS 6200は手動テストソリューションに比べて優れた性能を発揮します。統合されたマルチコアキシャルプローブ、自動化されたアライメント、サイレント操作や低振動性能などの機能により、高精度の測定に最適です。このツールはさまざまなサイトで動作し、迅速で信頼性の高いウェーハテストと計測に経済的で効率的なソリューションを提供します。
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