中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293739429 を販売中

KLA/TENCOR SFS 6200は、半導体ダイおよびウェーハの特性を正確かつ信頼性の高い測定を行うために設計された高性能ウェーハ試験および計測（測定）装置です。高度なイメージング技術と非常に精密なフォースプレート技術を活用して、ウェーハレベルおよびデバイスレベルの特徴を正確に測定します。このシステムは、金型のサイズと形状、均一性および位置精度、デバイスの重要寸法、角深度、および漏れ電流や抵抗などの電気特性を含む幅広い必須特性を測定することができます。最先端のイメージング技術は、高度で独自のアルゴリズムとセンサーによって駆動され、非常に正確で信頼性の高い結果を保証します。この装置のイメージング機能は、ウェーハの完全な計測カバレッジを提供し、接合やステッチ、微小汚染、ダイツダイの不均一性など、ウェーハレベルの特性を詳細に把握することができます。さらに、このツールのイメージングアセットは、迅速かつ簡単なオートフォーカス機能とオートシャッター機能を使用して、プロセスの最適化を可能にします。また、3つの高速フォースセンサーにより、デバイスの臨界寸法（CD）、エッジの滑らかさ、角深度などのデバイスのレベル特性を正確に測定できる信頼性の高い堅牢なフォースプレート技術を備えています。これにより、顧客はウェーハの問題領域を迅速に特定し、即時の是正措置を講じることができます。この装置はまた、迅速なセットアップと切り替え機能を提供し、顧客は迅速かつ効率的にテストを実行することができます。さらに、システムのオンボードコンピュータは、自動運転を含む測定プロセスのすべてのステップを包括的に制御します。さらに、KLA SFS 6200ユニットは、KLA Eagle Quality Management Softwareとの容易な統合により、高いレベルの品質保証を保証します。このソフトウェアは、リアルタイムデータ分析と完全なロットレベル制御のための簡単なプロセス制御を顧客に提供します。すべてにおいて、TENCOR SFS6200マシンは、半導体ダイとウェーハの試験および計測において比類のない精度と信頼性を提供します。高度なイメージングおよびフォースプレート技術により、お客様はウェーハおよびデバイスの本質的な特性を迅速かつ容易に測定し、パフォーマンス、効率、品質保証を向上させることができます。