中古 KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293675905 を販売中

ID: 293675905
Inspection system.
KLA/TENCOR 6200 Surfscanは、マイクロバンプから酸化ピット、粒子、傷、結晶欠陥まで、半導体ウェーハのあらゆる欠陥の優れた欠陥検出、レビュー、位置および分類を提供するウェーハ試験および計測機器です。KLA 6200 Surfscanは高度なCMOSテクノロジープラットフォーム上に構築されており、抵抗勾配と表面地形の直接電気測定を可能にします。このシステムは、自動校正パターン認識、顕微鏡オペレータのコンピュータ画面に直接欠陥画像を表示する高解像度ビデオ機能、および欠陥検出、レビュー、位置および分類のための高度な画像解析機能を備えています。TENCOR 6200 Surfscanの統合欠陥レビューと計測は、ウェハーマッピングと欠陥位置から欠陥評価および電気測定まで、さまざまな技術を備えています。これらの機能により、6200 Surfscanは、優れた精度と速度で欠陥を自動的に検出、レビュー、および検出することができます。また、高解像度のウェーハマッピングと欠陥評価情報を提供し、欠陥の性質とウェーハへの影響を正確に把握することができます。このマシンは、任意の方向に高解像度のイメージングまたはスキャンをサポートしており、ユーザーの便宜のために人間工学的に設計されたビューファインダーとLEDバックライトが含まれています。KLA/TENCOR 6200 Surfscanの高度な光学および精密エレクトロニクスにより、ウェハ表面からさまざまな電気測定を得ることができます。このツールの低ノイズおよび高ダイナミックレンジは、設計検証、デバイス特性評価、歩留まり解析など、さまざまなウエハテスト作業に迅速かつ正確な電気測定を提供します。KLA 6200 Surfscanは抵抗マッピングも可能で、ウェハの電気特性を詳細に視覚的に表現できます。TENCOR 6200 Surfscanは、ウェーハテストと計測のための最先端の機能を提供します。高精度オプティクス、高度なCMOSテクノロジープラットフォーム、高度な画像解析機能により、欠陥検出、位置、レビュー、評価において最大限の力を発揮します。このアセットは、最も要求の厳しいウェーハテストアプリケーションの究極の選択肢です。
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