中古 KLA / TENCOR 6100 #9250107 を販売中

KLA/TENCOR 6100ウェーハ試験および計測装置は、ウェーハ製造プロセスを合理化し、歩留まりを最大化するように設計された完全自動ウェーハ検査ツールです。ウェーハハウジングステーションの自動化、ステージスキャナシステム、計測モジュールの自動化など、いくつかのコンポーネントで構成されています。自動化されたウェーハハウジングステーションには、最大66個の8インチウェーハを保持できるバッチローディングカルーセルが含まれています。これは、ユニットが技術者の一定の手動出席なしにスムーズかつ効率的に動作できることを保証します。ステージスキャナ機は、ウェーハを移動させ、適切な計測モジュールに供給するように設計された電動プラットフォームです。これは、定義された位置への迅速な移動のための2つのロータリーエンコーダと滑らかな動きのための精密ドベテールガイドで構成されています。また、最大10ミクロンの高さ差を検出することができ、正確な測定が可能です。計測モジュールは、ウェーハの厚さなどの重要なパラメータを迅速かつ正確に測定することができます。このツールは干渉計を使用して、単一または複数の波長モードの厚さを測定します。また、分光楕円測定法を使用して、膜厚、面粗さ、光学定数を測定します。その他の機能は、デジタルカメラによるステージキャリブレーションとビジョンサポートです。KLA 6100は、ウェーハの歩留まりを改善し、出力を最大化しようとするデバイスメーカーにとって不可欠なツールです。それは最小限の時間と労力で高水準の品質と精度を保証する高速、信頼性の高い、正確な資産です。TENCOR 6100は、精密な計測機能と自動ウェーハ処理により、幅広いウェーハ処理アプリケーションに最適です。