中古 KLA / TENCOR 6100 #9226702 を販売中

KLA/TENCOR 6100は、半導体製造のためのモデルベースの計測サービスを提供するウェーハ試験および計測機器です。このシステムにより、集積回路（IC）やその他のデバイスの特性を正確に評価することができ、製造メーカは数ナノメートル程度の個々の特性を測定することができます。KLA 6100モデルには、クロスウェーハオーバーレイに最大3nmの高精度アライメント性能を提供するContour-MPXTMオーバーレイモジュールが搭載されています。このユニットには、正確なウェーハ測定、設計、およびアライメントのためのDie-AlignerTMスキャニングマシンも含まれています。また、TENCOR 6100は、デバイスまたはウェーハ全体の非常に小さな欠陥を検出および測定できる高分解能の公差測定パッケージを備えています。6100は、トランジスタおよびウェーハ特性の特徴を高精度で分析するために使用できます。自動化とモデルベースの計測の組み合わせにより、再現性と信頼性の高いプロセスを実現できます。さらに、KLA/TENCOR 6100には、さまざまな材料の粒子、汚染物質、欠陥を識別して測定できるAdvanced Particle Analysis™パッケージも装備されています。ウエハ形状や地形の解析も可能で、表面平坦度、プロファイル粗さ、均一性の測定が可能です。KLA 6100モデルには、高度なオプティカルオーバーレイパッケージも搭載されており、ウェハダイ配置や高度なオプティカルオーバーレイメトロジーの制御と精度を向上させることができます。このアセットは、半導体製造プロセスにも適しており、肉眼では見えない製造プロセスの欠陥を検出することができます。全体として、TENCOR 6100モデルは、信頼性と精度の高い計測機器を探しているメーカーにとって優れた選択肢です。耐久性のあるハードウェアと高度な機能により、ウェーハテストと計測ニーズに効果的なソリューションをお客様に提供します。