中古 KLA / TENCOR 6100 #293745465 を販売中

KLA / TENCOR 6100
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
6100
ID: 293745465
Particle counter.
KLA/TENCOR 6100は、半導体ウェーハの試験および検査に使用されるウェーハ試験および計測機器です。地形、組成、表面欠陥などのウェハ特性を評価します。ウェーハ表面の特徴を包括的に分析するための高度なイメージング、分光、プロービング技術で構成されています。KLA 6100は、最大0。5 μ mの画像解像度を実現できる5。5 μ mピクセルの高解像度イメージャを備えています。これは、優れた表面計測機能を提供するために回折光学とプログラム可能なスプリットエシェル分光計を使用しています。ナノメートル分解能と高速性を備えた高度なウェーハプロービング機能を備えており、インプロセス半導体テストに適しています。このシステムには、テストプロセスの効率的な自動化を可能にし、データ分析とレポート機能を提供するIntelligent Automationソフトウェアがあります。パターン認識アルゴリズムを使用して欠陥を見つけ、パターンを分析します。また、テスト結果を可視化するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも備えています。TENCOR 6100は半導体産業に幅広い用途を持っています。表面トポグラフィの測定、半導体表面構成の分析、表面汚染物や欠陥の検出、厚さや表面品質の評価に使用できます。また、部品対部品、ウェーハ対ウェーハ、ダイツダイ再現性など、幅広い特性を測定することができます。その柔軟性のために、6100は、プロセス開発と大量の製造環境の両方において家庭でも適しています。生産システムのインライン測定や計測ラボのプロセス変化の検証に使用できます。このユニットはまた、一貫した正確な結果を保証するために、キャリブレーションおよびキャラクタライゼーションマシンと品質管理ツールを内蔵しています。全体として、KLA/TENCOR 6100は半導体ウェーハの特性を測定および監視するために不可欠なツールです。生産のダウンタイムとコストを最小限に抑えながら、優れた解像度、精度、信頼性を提供する高度な計測ツールです。
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