中古 KLA / TENCOR 587 #9399578 を販売中

KLA/TENCOR 587は、半導体デバイスのテストおよび故障診断用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。画像取得および画像解析技術を活用して、線幅、全表面特性、欠陥位置とサイズ、電気パラメータなどのさまざまなデバイスパラメータを測定します。KLA 587は、ウェーハビニング、プロセス制御、歩留まり改善などの用途に最適です。このシステムは、粒子測定、臨界寸法測定（CD）、オーバーレイアライメント、ラインノード、および測定を介してのさまざまな画像解析機能を提供します。TENCOR 587は、高度な画像取得および分析技術と堅牢なデータ管理およびレポート機能を組み合わせ、信頼性の高い正確な結果を提供します。このユニットは、最小線幅、ラインノード、ビア、異常、パターン、欠陥、フォトレジスト異常、デバイスパラメータなど、さまざまな機能を測定できます。また、さまざまなウエハ基板に対応し、業界標準のほとんどのファブプロセスをサポートし、幅広い分析およびレポート機能を提供します。特筆すべき特徴としては、大規模で高解像度のマルチレベルCCDイメージングツール、広域解析用の広い視野、高速デュアルチャネル画像取得アセットなどがあります。587はまた、単一の画像内の複数の欠陥、ピット、傷、およびその他の欠陥を検出してキャプチャすることができる高度な欠陥分類およびソート機能を提供します。このモデルの堅牢なデータ収集および管理機器により、大量のデータを迅速かつ効率的に保存および処理できます。KLA/TENCOR 587は、今日の最先端の半導体ファブのニーズを満たすように設計された汎用性と強力なシステムです。堅牢な画像取得および解析機能、広範なデータ処理とストレージ容量、包括的なレポート機能を備えたKLA 587は、ウェハビンおよびプロセス制御ニーズに最適なソリューションです。