中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9252403 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、高いスループットと高精度スキャン機能を提供するウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、最先端の高速モーションステージと超精密ウェーハ変換ステージの2つの主要コンポーネントで構成されています。モーションステージには、高解像度のリニアエンコーダと微調整された光学エアベアリングが装備されており、サブナノレベルの再現性と精度により、ウェーハの精密な表面スキャンが可能です。翻訳段階はさらに精度を高め、ウェーハ上の欠陥を高精度に測定することができます。これらの2つのコンポーネントは、ウェーハ上でさまざまな測定とテストを行うことができます。最も一般的なタイプの測定には、ラインスキャン、エリアスキャン、スポット測定、エッジ検出スキャンがあります。このユニットはまた、小さな凹凸、粒子、マイクロバンプ、ピット、傷などのウェーハの表面に小さな構造をプロファイリングすることができます。また、焦点面線スキャン、温度プロファイリング、X線イメージングなどの特殊な測定も可能です。KLA 5500 Surfscanは、さまざまな測定タイプを提供するだけでなく、測定データを簡単にキャプチャ、分析、保存できる統合ソフトウェアパッケージも備えています。このソフトウェアパッケージはユーザーフレンドリーに設計されており、ユーザーがウェーハテストと計測タスクを迅速かつ正確に実行できる一連の機能が含まれています。全体として、TENCOR 5500 Surfscanは、高精度のウェハテストと計測タスクを実行するための優れたマシンです。幅広い測定と試験が可能で、多くの業界や用途に最適です。堅牢な統合ソフトウェアパッケージにより、測定データを簡単にキャプチャ、分析、保存できるため、ユーザーは目的のタスクを迅速かつ正確に実行できます。