中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、業界をリードする自動ウェーハ試験および計測機器です。半導体ウェーハにおいて、高精度の光検査とトポグラフィ測定を実現するよう設計されています。このツールは、インラインおよびオフライン欠陥検査および歩留まり解析のための多径、高精細、再現性のある測定機能を提供します。KLA 5500 Surfscanは、単一のテスト実行からさまざまなデータを収集できるマルチセンサーシステムを備えています。これには、ウェーハの光学画像、ステップの高さと平坦度、プロファイル、SEM断面画像、特徴識別とアライメント、オーバーレイなどの地形測定が含まれます。TENCOR 5500 Surfscanでは、新しいフローティングオプティクスのモーションコントロールを使用して、ウェーハの周りの完全な動きを保証し、ウェーハ全体のデータポイントをキャプチャする高解像度マッピングユニットを提供しています。このマシンには、ウェーハ上の問題のある機能をすばやく特定するための自動欠陥検出アルゴリズムによる欠陥レビュー機能も含まれています。これは、プロセス関連の欠陥を識別するための自動欠陥追跡、分析およびレポート作成ツールを備えているだけでなく、複数の言語をサポートしているため、お客様は独自の言語で資産と対話することができます。KLAはまた、検査基準、データ収集ハードウェアおよびソフトウェア、およびサードパーティの校正サービスの完全なラインを提供し、正確なデータ収集と分析を保証します。5500サーフスキャンは、堅牢な設計と信頼性の高い再現可能な測定を提供する能力のおかげで、業界で人気のある選択肢となっています。高解像度マッピングモデル、さまざまなデータをキャプチャする機能、自動欠陥レビュー機能により、ウェーハメトロロジーアプリケーションに最適なソリューションです。強力なソフトウェア、自動製造、統合レポート機能を備えたKLA/TENCOR 5500 Surfscanは、世界中の半導体ファブに包括的なウェハテストソリューションを提供します。