中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9213367 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体ウェーハの信頼性と正確な試験結果を提供するように設計された高度なウェーハ検査および計測機器です。このシステムは、高度な光学・干渉測定技術を利用して、個々のチップやダイの高解像度画像を提供し、複数の機能や欠陥の正確な特性評価と測定を可能にします。KLA 5500サーフスキャンユニットは、最大10ミクロンの精度で各種ウェーハ表面を効率的にスキャン・測定することができます。パーティクルやエッチングピット、トーンや厚みのバリエーションを検出してマッピングできます。3Dスキャンヘッドは高周波光を使用しているため、短時間で広範囲の粒子を簡単に識別できます。さらに、ウェーハ表面の電気パラメータの変化を検出、カウント、測定、分類、監視することができます。TENCOR 5500 Surfscanツールには、自動検査、パターン認識、再フォーマット、復元、分析、レポートなどの機能を備えた高度なソフトウェアパッケージも組み込まれています。このソフトウェアは、ユーザーがデータを視覚化し、簡単にウェーハの欠陥を識別することができます。また、ウェーハの薄型化、レビュー、アライメントのためのカスタマイズ可能な画像および統計分析も提供します。高度なハードウェアとソフトウェアに加えて、5500 Surfscanモデルにはいくつかの安全機能があります。これらには、ドアのダブルロックの安全性、緊急遮断スイッチ、および落下防止装置が含まれます。さらに、この装置のチャンバーは、ほこりのないように設計されており、半導体ウェーハのほこりのない測定と分析が可能です。KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体ウェーハ用の高度なウェーハ試験および計測システムです。高度な光学および干渉測定機能と自動化されたソフトウェアパッケージにより、粒子、エッチングピット、トーンバリエーション、および電気パラメータを高精度に一度に正確に検出、分析、測定できます。さらに、このユニットには、ほこりのない安全な試験環境を確保するためのいくつかの安全対策が含まれています。