中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9003849 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、ウェーハ基板の物理的整合性を測定するために業界で使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、デバイスの表面全体にわたる高度な光学センシング技術を使用して、ミクロンスケールの重要な寸法を取得します。KLA 5500 Surfscanは、非接触および非侵襲的な方法でサブミクロン測定を行い、ウェーハの表面形状の均一性を評価するために使用できるウェーハ表面の仮想イメージを作成します。TENCOR 5500 Surfscanは非常に精度が高く、5ナノメートル（nm）以下の直線精度と1 nmの垂直精度を提供し、最小フィーチャーサイズ4。5 mmで有効な測定を提供します。5500サーフスキャンは、3。5インチの公称フルサイズのウェーハをデジタルフォームにスキャンして3D地形情報をキャプチャします。これは、デュアルレンズオプティカルセンシングヘッドとCCDリニアカメラで構成された5500リニアイメージングユニット（LIS）を使用しています。LISがデータを取得すると、2次元画像は3次元に変換されます。データは、KLA/TENCOR 5500 SurfscanのOn-Track Programmer （OTP）またはAutomatic Defect Review Machine （ADRS）を使用して処理、アーカイブ、検査されます。On-Track Programmer （OTP）は、ウェーハ測定プロセスを自動化するスタンドアロンのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）です。OTPに入力されたデータには、ウェハサイズ、部品番号、ショットサイズ画像の数、スキャン範囲、ライン速度、フィーチャサイズが含まれます。このことから、OTPはウェーハの表面を完全に覆うことができる一連のデータスキャンであるデータ収集計画を作成します。また、ウェーハ上の欠陥のマップを作成し、さらなる分析を行います。収集されたデータは、継続的な監視と測定後の分析の両方のためにOTPのデータベースにコンパイルされ、保存されます。ADRS （Automatic Defect Review Tool）は、オペレータがOn-Track Programmerによって収集されたデータをレビューできるソフトウェアパッケージです。高度なアルゴリズムとソフトウェアツールを組み合わせて、ウェーハの前後の画像を比較します。2つの画像の違いが検出された場合、ADRSは自動的に手動検査のための領域にフラグを付けます。KLA 5500 Surfscanは、ウェーハ基板の品質を確保するための強力なツールです。非接触型の非侵襲的な方法で、最大1nmの垂直精度の重要なウェーハ寸法を迅速かつ正確に測定できます。On-Track Programmerはデータ収集計画を作成し、さらなる分析のためにデータを保存します。全体として、TENCOR 5500 Surfscanは、優れた結果をもたらす信頼性の高いウェーハテストおよび計測モデルです。