中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #55391 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、さまざまな半導体デバイスのハイスループット試験および分析を可能にする高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体デバイス上の構造や電気パラメータの特性評価を向上させる高度な光学散乱計ユニットと統合されています。このマシンはまた、均一性と重要な計測結果のためのイメージングを最適化する堅牢なオートフォーカス機能を備えています。また、KLA 5500 Surfscanは低歪み試験が可能で、アスペクト比の高いデバイスや曲面の評価に適しています。TENCOR 5500 Surfscanには、ウェハトラッキングとグローバルアライメント測定を容易にするScan Generatorソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、グローバルアライメント測定、光学散乱計、曲率半径、傾き、最高の焦点など、複数の機能構成と評価をサポートします。また、多次元変換解析により、実際のフィーチャー形状と対象デバイスの正確な比較が可能です。このツールは通常、4インチと6インチの両方の測定フィールドで500 mmウェーハをスキャンするためのエアベアリングスキャナを使用します。このアセットは、低解像度と高速スキャンレートのため、パターン密度が低いことを測定することができます。また、高解像度、中解像度、高速スキャンなど、3つの異なるスキャンオプションも提供しています。このモデルでは、スキャンウエハに加えて、離散部品またはデバイスを測定するための3D回転ステージも提供しています。5500 Surfscanにはユーザーフレンドリーな検査ソフトウェアが付属しており、機器の簡単な実装と操作を可能にします。この直感的なソフトウェアは、結果の迅速なセットアップと分析を容易にするグラフィカルユーザーインターフェイスを持っています。このソフトウェアはまた、効率的なデータ分析を可能にするために、曲線フィッティングやパラメータ抽出などの強力なデータ分析オプションを提供します。このシステムは、重要な幾何学評価、パターントポロジー測定、欠陥検出および解析、およびその他の検査アプリケーションなど、幅広いウェーハメトロロジーアプリケーションで使用されます。また、特性評価研究、歩留まり向上、プロセス認定、および信頼性およびプロセス開発に関連するその他のアプリケーションを容易にします。KLA/TENCOR 5500 Surfscanのリアルタイム監視機能により、インラインプロセス制御と高度なプロセス改善に適しています。