中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293815231 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体産業のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは信頼性が高く、半導体ウェーハ上の多くのパラメータを自動測定することができます。ウェーハテストプラットフォーム、ウェーハハンドリングロボティクス、および一連の自動データ収集、分析、レポート作成ツールで構成されています。KLA 5500 Surfscanのプラットフォームは、レーザー干渉計を使用して、ウェハの厚さ、平坦度、平坦度の変化などの寸法特性を測定します。欠陥、粗さおよびステップ高さを含むウェーハの表面の地形を測定するのにダイオードレーザーの単位が使用されています。プログラム可能なプローブヘッドは、電気接触抵抗、表面電位、パターン認識を測定するために使用されます。ウェハテストプラットフォームには、オフライン欠陥検査およびレビュー用のイメージングマシンも含まれています。TENCOR 5500サーフスキャンツールのウェーハハンドリングロボティクスは、ウェーハのロードとアンロード、測定ポイントのアライメントを可能にします。ロボティクスは、精度と速度を維持しながら、さまざまなサイズのウェーハを処理するように設計されています。5500 Surfscanアセットの自動データ収集および分析機能は、ウェーハテストおよび計測プロセス全体にリアルタイムのフィードバックとデータ処理を提供します。このデータは社内で分析するか、さらに分析するためにエクスポートすることができます。ウェーハテスト結果のレポートは全自動で簡単に取得できます。KLA/TENCOR 5500サーフスキャンは、ウェハテストと計測に優れた性能と機能を提供します。このモデルは堅牢で信頼性が高く高精度であり、迅速なターンアラウンドタイムと改善されたプロセス制御を可能にします。装置は容易にアップグレード可能で、ほとんどの環境で使用することができ、半導体ウェーハ試験に最適です。