中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293616224 を販売中

KLA/TENCOR 5500サーフスキャンは、最先端のウェハテストおよび計測機器です。半導体業界の欠陥レビュー、欠陥検出、検査ニーズをサポートするように設計されています。このシステムは、粒子検査、表面イメージングおよびトポグラフィー、ならびにダイ間および層間欠陥調査のための包括的で信頼性の高い結果を提供し、ウェハレベルでの徹底的な分析を可能にします。KLA 5500 Surfscanは、解像度12 μ mの1。4ギガピクセル、1。3メガピクセルCMOSイメージング検出器を備えています。これにより、ウェーハ表面のすべての粒子、欠陥、その他の特徴を正確に画像化できます。このイメージングユニットは、統合されたモーター式ウェーハステージ内に収納されており、粒子や欠陥を正確にマッピングするための優れた位置精度、および欠陥位置の制御スキャン/イメージング/測定を可能にします。さらに、このマシンにはレーザー干渉計が内蔵されており、ウェーハの正確なプロービングとスキャン、および欠陥位置の正確なマトリックス表示を保証します。Surfscan 5500は、2Dと3Dの両方のイメージングが可能で、表面トポグラフィの正確な特性評価が可能です。これは、高解像度の結果と正確な測定を提供するツールの高度なアルゴリズムを使用して行われます。このソフトウェアには、統計分析とグラフ作成ツールが自動化されており、異なる場所や異なるサイトやメーカーの結果を簡単に比較することができます。また、このソフトウェアは、ウェーハの簡単なデータ保存と視覚的品質のレビューを可能にします。全体として、TENCOR 5500 Surfscanアセットは、半導体メーカーにとって不可欠なツールであり、粒子検査、表面イメージング、トポグラフィー、およびダイ間および層間欠陥試験に精密で信頼性の高い結果を提供します。高解像度のイメージングおよび自動解析ツールにより、このモデルは迅速かつ正確な品質レビューを容易にすることができ、あらゆるウェーハ製造設備に優れた付加価値を提供します。