中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体ウェーハの製造における重要な欠陥を検出および評価するために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ピット、亀裂、粒界、薄膜および残留物、ウェハ厚の非均一性、ワープまたはボウ、粒子汚染、および抵抗の非均一性を含む幅広い欠陥を検出および測定することができます。さらに、KLA 5500 Surfscanの先進技術は、電気検査とアートワーク検査の両方をサポートし、より迅速で正確な欠陥検出を実現します。TENCOR 5500 Surfscanは、高速かつ直感的な自動測定プロセスで構築された生産性のために設計されており、再現可能な精度と正確な制御を可能にします。このユニットには、寸法を正確に測定するための数百のセンサーとスキャン段階、および欠陥を識別および分類する高解像度のイメージングおよびデータ分析アルゴリズムが装備されています。内蔵ソフトウェアは、ウェーハを自動的に整列させ、欠陥位置を測定し、1時間あたり最大160個のウェーハの迅速なスクリーニングを可能にします。また、オプションの高度な輪郭プロファイル測定システムにより、欠陥検出機能が強化され、プロファイル形状、ステップハイト、オーバーシュート角度などの表面プロファイルの粗さやその他の物理的特徴を効率的かつ正確に測定できます。5500サーフスキャンは、ブライトフィールド、ダークフィールド、および差動イメージングを含む複数のイメージングモードを提供し、欠陥のサイズ、密度、および向きの決定を支援します。KLA/TENCOR 5500 Surfscanのハードウェアは、さまざまな角度から画像をキャプチャするように設定できる複数のカメラとレンズを備えた高度な構成が可能です。このツールには、LEDや水銀アークランプなど、さまざまな照明源が装備されており、外部フィルターキューブや分光計、ミニスペックシステム、デジタル化モジュールなどの幅広いアクセサリーが付属しています。加熱ステージを使用すると、高温環境下でサンプルを分析することができます。さらに、KLA 5500 Surfscanは、その精度と効率を最大化するために、高度なソフトウェアプログラムのスイートと互換性があります。Dynamic Analysis Software、 Flowvision software、 Curv-x softwareなどがあり、表面フィーチャー、プロファイル解析、欠陥のサイズの包括的な分析とレポートを可能にします。これにより、プロセス制御と監視のためのタイムリーなフィードバックが可能になり、納期の短縮と欠陥のない生産を保証します。