中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293587041 を販売中
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ID: 293587041
ウェーハサイズ: 4"-6"
Inspection system, 4"-6"
Process: Cassette to cassette
High throughput
High resolution.
KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体業界で精密なウェーハ測定に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、パターン化されていないウエハの形状とプロファイルを測定するために使用される高精度の非接触ユニットです。自動化された光学プロファイラを使用することで、幅広い材料で超低ノイズ、高速かつ正確なスキャンが可能です。KLA 5500 Surfscanは、非接触光学顕微鏡と独自のレーザースキャン干渉計(LSI)ツールを使用して、さまざまなウェハ材料を測定します。LSIアセットは、ウェーハの地形の立体的な地図を作成し、最小のフィーチャーの表面の特徴を検査、分析、レポートすることができます。このモデルは、表面フィーチャー形状と高さを10ナノメートルまで検出することができます。表面形状や高さの測定に加えて、TENCOR 5500 Surfscanはウェハの抵抗を測定します。この測定は、電子デバイスの機能および故障に重要なウェーハの電気抵抗を特徴付けるために使用されます。5500 Surfscanは高い精度で抵抗を測定することができ、特にIC、トランジスタ、およびその他のトレーサブル部品の電圧変化を検出および監視することができます。KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、ウェーハデータの視覚的な解釈と分析を可能にするソフトウェアアプリケーションも備えています。データを迅速かつ正確にプロットして解釈することで、ユーザーはウェーハパターンをよりよく理解し、さらなる研究と実験を行うことができます。この装置はユーザーフレンドリーで、より正確な結果を得るために自動化された操作を可能にします。全体として、KLA 5500 Surfscanは信頼性が高く強力なウェハテストおよび計測システムです。高解像度で形状やプロファイルを測定することができ、表面フィーチャー形状や抵抗率の検出に加えて、半導体の設計や製造に使用できる信頼性の高いデータをユーザーに提供します。また、ソフトウェアアプリケーションは、有用な視覚分析ツールを提供し、ユーザーが迅速かつ簡単にウェーハデータの解釈、分析、レポートを行うことができます。そのため、TENCOR 5500 Surfscanは半導体産業に欠かせないツールです。
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