中古 KLA / TENCOR 5500 Surfscan #194942 を販売中

KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、半導体業界で使用されるウェハテストおよび計測機器です。ウェーハの表面欠陥や界面欠陥の検出に優れ、強力な統計データ解析を提供し、デバイスエンジニアが性能特性を正確に判断できるようにします。KLA 5500サーフスキャンユニットは、品質保証、歩留まり改善、プロセス特性評価、故障解析、根本原因分析など、ウェーハ製造プロセス全体の幅広いアプリケーションに使用されます。このマシンは、ウェーハサイズとアプリケーションの範囲にわたって高性能を提供し、最高の品質管理を保証します。TENCOR 5500サーフスキャンツールを使用すると、最終デバイスの品質に影響を与える可能性のあるウェーハの表面欠陥とインタフェース欠陥を迅速に検出できます。白色光干渉計（SWLI）、 Multi Angle Convergent Beam Electron Diffraction （MACE）、 Scanning Electron Microscopy （SEM）の3つの主要な技術を備えています。SWLIは、表面形状とインタフェース形状の微妙な変化を検出することにより、迅速かつ高感度のウェーハ表面計測を提供します。MACEは、誤った欠陥検出を低減するのに役立ち、さまざまな技術の界面特性を特徴付けるために使用することができます。最後に、SEMは、ドーパントカバレッジの悪さや接触形成の悪さなどの構造欠陥の自動検出を提供します。5500 Surfscanアセットには、エンジニアが誤った拒絶を避け、パフォーマンス特性を正確に決定するのに役立つ多くの高度な機能もあります。統計データ分析、カスタマイズ可能なプロセス、リアルタイム欠陥検出などがあります。これらの機能により、欠陥を迅速に検出および診断することが容易になり、メーカーは同じ種類の欠陥ウエハをリメイクするリソースを無駄にしないようになります。全体として、KLA/TENCOR 5500 Surfscanは、現代の半導体製造において非常に貴重なツールです。さまざまな先進技術を1つの包括的なウェーハテストおよび計測モデルに完全に融合させ、効率を最大化し、デバイスエンジニアが性能特性を正確に判断し、危険な欠陥を検出するのに役立ちます。