中古 KLA / TENCOR 5300 #9350994 を販売中

KLA/TENCOR 5300ウェハテストおよび計測機器は、幾何学的特性、写真、膜厚、電気特性、フィルムストレス、および充電など、ウェハの複数の特性を測定するために使用できる多軸自動スキャンシステムです。このユニットは、ウェーハの欠陥を測定、検索、定量化できる自動ツールとソフトウェアのスイートで設計されています。これらの各機能は、6インチから300mmまでのさまざまな基板で動作するように設計されています。KLA 5300には、特許取得済みのビームスイッチング機能を備えた高速レーザベースのスキャンヘッドが搭載されており、スキャン中にさまざまなレーザ波長を迅速に切り替えることができます。この独自の設計により、サンプルの表面特性、性能、均一性を同時に正確に測定することができます。また、モノクロカメラを使用して物理的欠陥、トレンチ、製造材料の不均一な画像を撮影する太陽光発電イメージングデバイスも搭載しています。TENCOR 5300には、直感的なユーザーインターフェイスとソフトウェア制御のインストゥルメンテーションが装備されており、セットアップと操作を簡素化します。このツールは、画像の3Dディスプレイを表示し、オペレータがサンプルの欠陥をすばやく見つけて測定するために使用できます。このアセットはユーザーフレンドリーに設計されており、ユーザーの個々のニーズに合わせて簡単に設定およびプログラムすることができます。5300は、最も信頼性が高く最新の技術で構築されており、耐久性と信頼性の高い物理ケーシングを備えています。また、サンプルトラッキング、トレーサビリティ、再現性、再現性の自動モデルも備えています。これにより、各測定が多数のサンプルにわたって正確かつ再現可能であることが保証されます。KLA/TENCOR 5300は、測定においてこれまでにないレベルの柔軟性と精度を提供し、最新の技術で常に改善および更新されています。最新のアップグレードでは、高温・高圧、高速、広域サンプル、超薄膜の測定が可能です。これらの機能により、KLA 5300はウェハテストおよび計測に最適です。