中古 KLA / TENCOR 5300 #9205449 を販売中

KLA/TENCOR 5300は、高度な半導体デバイスの開発、製造、修理のための自動ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、最大150mm （6インチ）のウェーハを保護するために、デュアルサイド、デュアルラテラル、垂直モーションウェーハハンドラを自動化しています。ユニークに設計されたアクセラレータ・レールは、迅速なアライメントと正確な計測とイメージングのために、ウェハハンドラをスピードアップして減速します。KLA 5300のGigaView9検出器は、各ダイ位置に正確にインシデントする3つの高輝度レーザーを導入し、高度な表面解析を行います。これにより、非破壊画像とダークフィールド画像によるリアルタイムスキャンが可能になり、ProAutofinderにより、ダイ、ターゲット位置、およびイメージするトレースパスを自動的に検出できます。また、PPG （Pulse Pattern Generator）を使用することで、小型から大型のダイサイズまで、幅広い測定パラメータに合わせたTFTソリューションを実現します。Data Expert Interval Explorer （DEXIE）を搭載したユーザーフレンドリーなソフトウェア環境は、操作を簡素化し、機能制限やヒストグラムなどの統計分析機能を提供します。さらに、ウェーハマップ解析のための複数の選択ツールもサポートし、品質管理を確実にします。TENCOR 5300は、堅牢なウェーハ測定と計測性能により、高度なウェーハ製造とデバイス開発のための高速で費用対効果の高いソリューションです。業界をリードする測定性能と直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアを組み合わせることで、迅速で信頼性の高いプロセス制御を可能にします。アセットの幅広い機能と機能により、品質管理チームはウェーハの製造および修理において正確かつ再現性のある測定を保証できます。