中古 KLA / TENCOR 5300 #9205448 を販売中

KLA/TENCOR 5300は、半導体製造に適した先進的なウェーハ試験・測定装置です。第5世代のソーターファミリーの一部として、KLA 5300はインテリジェントアルゴリズム、洗練された光学、および業界をリードする計測法を採用して、現場での欠陥の検出をサポートし、パフォーマンスの最適化を支援します。TENCOR 5300は、最高のスループットを実現するように設計されており、幅広い高精度プローブカードおよびハードウェアコンポーネントをサポートし、ウェーハおよびチップを最高レベルの精度と速度で検査、分類、測定します。このシステムの高度なシリコン顕微鏡は、2Dおよび3Dイメージングを提供し、表面欠陥と内部欠陥の両方を検査することができます。5300の独特な設計は0。7 μ mまで欠陥の決断を保障します。データキャプチャと分析は、ユニットの操作の不可欠な部分でもあります。エンジニアリング知識と高度なオンボード分析を組み合わせることで、KLA/TENCOR 5300はさまざまな欠陥を正確に検出、分類、測定できます。特に、自動測定、自動アライメント、高度なイメージングプロセス、および多くの自動データ入力オプションがあります。KLA 5300は、イメージングやステップハイトの測定から、フォワードルッキングとTEMの両方の画像のスキャンまで、さまざまな生産アプリケーションで使用されています。ライン幅の測定、プロセス評価、表面粗さ検査、3Dレイヤリング、チップフリッピング、静電放電検出、デバイス検査にも使用されます。パフォーマンスを最大化するために、TENCOR 5300は、ダイダイ比較、SPC解析、デザインルールチェック、チップツーウェハマッピングなど、さまざまな高度なデータ解析ツールと統合されています。さらに、独自の画像強化アルゴリズムにより、より良い欠陥分類が可能になります。マシン上でキャプチャされたすべてのデータは、業界標準のファイル形式にエクスポートでき、部門間のコラボレーションが増加します。全体として、5300は半導体ウェーハのテストと計測に強力で効率的なサポートを提供します。高度な光学および分析、高精度プローブカード、および操作をサポートするオートメーションを備えたこのツールは、迅速かつ正確な欠陥テストと測定を可能にします。