中古 KLA / TENCOR 5300 #9205445 を販売中
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販売された
ID: 9205445
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse (Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
Manuals included
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300は、集積回路、MEM、太陽光発電などのウェハレベルのコンポーネントを迅速かつ正確に分析できるように設計された画期的なウェハテストおよび計測機器です。この最先端のシステムは、開発とトラブルシューティングのニーズに最適なツールです。KLA 5300は、ウェーハの電気層、物理層、化学層を正確に測定します。電気試験を行い、顕微鏡画像を検査し、光学測定を行います。単位は0。2 μ mの小さい特徴を検出するのに十分な敏感です。TENCOR 5300には、専門のモーター、カメラ、照明システムなど、いくつかの最先端のツールが含まれています。例えば、モーターはウェーハがオンになるステージを制御します。ウェーハのさまざまな部分を調べることができるように、ステージを機械全体に移動させることができます。カメラはウェーハの画像を撮影し、様々な倍率で様々な特徴を調べることができます。さらに、照明ツールを使用すると、テストプロセス中にサンプルウェーハを観察することができます。5300はまたウェーハの電気特性を測定する多数の調査を含んでいます。これらのプローブは、電流、電圧、容量、および漏れを測定できます。プローブは静電容量、抵抗、および電圧クランプ機能のさまざまな組み合わせでチップされ、異なる電気特性を正確に測定できます。さらに、このアセットには、独自のモジュールが必要とする生データを生成するためのソフトウェアが装備されています。このモジュールは、収集されたデータを解釈し、レポートを作成するために独自のアルゴリズムを使用します。レポートにはウェーハの特性に関する貴重な情報が含まれており、ユーザーがより良いコンポーネントのトラブルシューティングと設計を容易にすることができます。KLA/TENCOR 5300は、最新の高精度の測定と分析を提供する印象的なウェーハテストおよび計測モデルです。この装置は、集積回路、MEM、およびその他のウェハレベルのコンポーネントを分析および開発するための貴重なツールです。
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