中古 KLA / TENCOR 5300 #9197519 を販売中
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タップしてズーム
販売された
ID: 9197519
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and mouse(Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection station:
Mainbody stage
Chuck stage: X, Y
Optic
Power & signal cables
Includes:
LEXMARK Printer
Backup floppy
Spanner
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300は、ウェーハおよびデバイスのパラメータを正確に測定するために設計された強力なウェーハ試験および計測機器です。この最先端のシステムは、ウェーハ上のフィルムと構造の両方の欠陥を特定し、組成、膜厚、臨界寸法、吸収率などのパラメータのダイダイ変動を決定するのに役立ちます。このユニットは比類のない速度と精度で動作し、オペレータの介入を最小限に抑えて最大のスループットを提供します。Programmable Logic Controller (PLC)などの最先端のハードウェアを使用して、プローブの読み込みを決定的に制御し、機能認識レポートとマルチタスク環境を提供して効率を最大化します。独自のデジタルCCDイメージング技術を使用して、画像を正確にキャプチャして保存します。強力なデジタルシグナルプロセッサは、画像コントラストを強化し、迅速かつ正確な測定を可能にします。KLA 5300は、既存の機器にすばやく簡単に統合できるユーザーフレンドリーなマシンです。モジュラーソフトウェアを使用すると、ユーザーはさまざまな機能にアクセスして、テストのセットアップと実行を迅速かつ簡単に行うことができます。このツールはまた、テストデータの保存と詳細な分析を可能にする豊富なオンボードメモリを備えています。アセットのハードウェアとソフトウェアは、高性能と高精度を保証するように設計されています。SmartSensors®テクノロジーは、ダイツダイ注文の表面変動を正確かつ正確に検出するために使用されます。ウエハサイズは200mmまで対応可能です。接触敏感な制御の使用は操作の容易さを保障します。各テストによって、装置はまた実時間出力を提供し、特定の望ましい結果の特定のテストをするためにカスタマイズすることができます。TENCOR 5300ウェーハテストおよび計測システムは、強力でありながら使いやすい装置であり、ほぼすべてのテスト環境で正確で信頼性の高い結果を提供します。高精度の性能、低い所有コスト、使いやすいコントロールインターフェイスを備えた5300は、産業用ウエハテストに最適です。
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