中古 KLA / TENCOR 5300 #9112501 を販売中

KLA/TENCOR 5300は、信頼性、再現性、正確な測定データをウェーハ生産に提供する高性能ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは完全に自動化され、線形および2D画像測定と高度なアルゴリズムを組み合わせて構築されているため、業界で最も効率的なウェーハテストおよび計測ソリューションの1つです。KLA 5300は、光学ウェーハ検査と光学ウェーハ計測の2つの技術を組み合わせています。光学ウェーハ検査プラットフォームは、高度な光学および画像処理アルゴリズムを使用して、ウェーハ表面の物理的欠陥を検出します。このユニットは、部分的な、傷、および汚染物などの潜在的な欠陥の広い範囲を検出することができます。これにより、プロセスの歩留まりを確保し、より信頼性の高い堅牢な製品を生み出すことができます。光学ウェーハ計測プラットフォームは、線幅、深さ、パターン、臨界寸法（CD）など、ウェーハ上の領域から正確な寸法値を測定するように設計されています。これは、高速かつ正確な測定のための高度なアルゴリズムを含む統合された高度に自動化されたマシンによって達成されます。このツールは、単結晶基板からパターン化されたウェーハまで、さまざまなウェーハをサポートします。顕微鏡、テレセントリックおよびリバースビューシステム、分光光度計、レーザー干渉計など、幅広い光学構成がサポートされています。また、レーザービームの位置決め、シミュレートされたアニーリング、オートフォーカス機能など、最新のマシンビジョン技術も統合されています。レーザーベースのシステムは、高速スキャンを可能にし、全体的なプロセスのスループットを高速化し、モデルのダウンタイムを最小限に抑え、生産性を向上させます。また、長時間稼働しても精度と信頼性を確保するため、自動監査サービスを搭載しています。全体的に、TENCOR 5300は、高品質で信頼性の高いプロセス結果を生成するように設計された堅牢なウェーハ試験および計測システムです。高度な光学測定技術と強力な計測アルゴリズムを組み合わせることで、製造プロセスを合理化し、幅広いウェーハ製造アプリケーションにおいて信頼性の高い正確なデータを保証します。