中古 KLA / TENCOR 5300 #9072400 を販売中

KLA/TENCOR 5300は、半導体およびMEMS産業向けに設計された先進的なウェーハ試験および計測機器です。優れた精度とデータ収集機能を備えており、これまでにない小さな欠陥や構造の検出と評価を可能にします。このシステムは、統一されたインテリジェンスや一連のユニークなツールなどの高度な技術を利用しています。これらは、クロスオーバー、切断、および間隔などの従来の欠陥と困難な欠陥の両方を特定するのに役立ちます。このソリューションはまた、線縁の粗さや回折格子などの困難な構造の画像処理および解析も提供します。KLA 5300の性能は、独自の検出器、コンバイナ、スキャンヘッドによって実現されています。独自の光学構成、高度な光学、ソフトウェア制御を利用しています。これらの技術により、ユニットは優れた均一性を持つ再現性のある信頼性の高いデータを生成することができます。また、20nm以上の光学分解能も向上しています。機械の自動校正および分析機能は、精度を向上させ、時間を短縮するのに役立ちます。広視野検査により、微妙な欠陥と大きな欠陥の両方を迅速に検出できます。このツールの強力なデータ解析アルゴリズムにより、ライン署名と欠陥分類の自動測定が可能になります。TENCOR 5300はまた、さまざまな高度な計測ソリューションを提供しています。これらには、直線性、均一性、フォトレジスト厚さの自動測定が含まれます。アセットの欠陥レビューにより、歩留まり解析、リソグラフィ故障解析、汚染検出のための自動欠陥分類も可能になります。このモデルの計測ソリューションは、生産品質を監視するのに理想的です。この機器は、業界最高水準の要件を満たすように設計されています。信頼性が高くメンテナンスフリーで、堅牢な機能検出、拡張ダイナミックレンジ、広い視野を提供します。5300は、信頼性の高いウェーハテストと計測のための費用対効果の高い正確なソリューションです。それはプロセス制御および高度の計量学の適用の広い範囲のために適しています。