中古 KLA / TENCOR 5300 #120993 を販売中

KLA/TENCOR 5300は、最先端のウェーハ試験および計測機器です。それは高度の欠陥の点検およびプロセス制御のために設計されています。KLA 5300は、光学自動検査（AOI）、自動欠陥認識（ADR）、サブピクセルイメージングシステム（SIM）の3つの技術で高感度を実現しています。AOIは、充電結合デバイス（CCD）カメラを使用して、ウェーハの高解像度画像をキャプチャします。オンボードイメージ処理により、ユニットはリアルタイムで欠陥を識別および識別します。このマシンは、サブミクロン欠陥を検出することができ、ショーツ、開口部、欠陥、はんだブリッジ、およびアライメントの問題を含む、電気的および光学的特性の両方の範囲を識別することができます。ADRは、特定の種類の欠陥を検出するように調整されています。画像の深い分析を行い、ウェーハのパターンと相関関係を検索します。これにより、最小の欠陥でも検出できます。また、ADRはトレーサビリティとトレーサビリティ分析を提供し、より大きなプロセス制御と詳細な歩留まり分析を可能にします。SIM技術はTENCOR 5300の中核にあり、ナノメートルレベルの構造欠陥を検出することができます。ウェーハの高解像度画像を作成することで、線幅のミスマッチ、構造の欠落、変位シフトなど、さまざまな欠陥を検出できます。また、AOIとADRの結果を分析し、ウェーハ構造を詳細に評価することもできます。全体として、5300はウェーハテストと計測のための強力なツールです。高感度、高度な欠陥検出、およびプロセス制御のためのより包括的な分析を提供します。堅牢な機能により、歩留まりと生産品質を改善し、市場投入までの時間を短縮できます。