中古 KLA / TENCOR 5300 #120866 を販売中
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販売された
ID: 120866
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and trackball
Video printer
Sub storage device (CD/floppy/tape)
Power and signal cables
Handler:
Robot
Power and signal cables
Inspection station:
Main body stage
X-Y chuck stage
Optics
Power and signal cables
Includes:
Site preparation manual
Software version upgrade manual
Operation manual
Customer logbook
Backup floppies (1 set)
208 V, 1 phase, 50/60 Hz, 12.5 A
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300は、半導体デバイスの自動かつ正確な解析用に特別に設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。生産中のウェーハ、金型、最終部品の評価と評価、チップオンボード(COB)、ボールグリッドアレイ(BGA)、フリップチップ設計など、さまざまな形態のパッケージングの測定と特性評価に対応する汎用性とユーザーフレンドリーなプラットフォームを提供します。システムは、コンピュータワークステーション、プローブステーション、および高度なCCDカメラで構成されています。ワークステーションには、タッチスクリーンインターフェイス、統合されたモーションコントロール、内部データ取得が装備されており、テスト手順とデータ収集の制御とトレーサビリティを提供します。KLA 5300の統合プローブステーションは、プローブヘッドを高解像度でプログラム可能で、ウェーハサイズやプローブ形状に合わせて簡単に移動および調整できます。また、高精度の試験測定とデータ収集を提供します。汎用性の高いプローブステーションに加えて、検査、特性評価、欠陥検出のための高度なCCDカメラ技術を備えています。TENCOR 5300の自動イメージングマシンは、高解像度、20µmスポッティング精度、信頼性の高い高精度画像補正ツールにより、各サンプルの高精度画像を提供します。自動化されたステッチやダイナミックフォーカス設定を含む、自動およびユーザー指向のパフォーマンス最適化技術により、品質測定が可能になります。5300には、さまざまなアプリケーションとソフトウェアオプションがあり、ユーザーは特定のニーズに合わせてアセットをカスタマイズできます。基本的なプロセス制御から高度なICテストまで、このモデルにはさまざまなソフトウェアパッケージとオプションがあり、ユーザーは機器構成を特定の要件に合わせて調整できます。結論として、KLA/TENCOR 5300は、汎用性の高いプローブステーションと高度なCCDカメラ技術を備えた強力なウェーハ試験および計測システムです。KLA 5300は、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイス、統合されたモーションコントロールおよびデータ取得、多種多様なソフトウェアオプションを備えており、半導体デバイスおよびパッケージングの品質試験および分析に最適です。
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