中古 KLA / TENCOR 5200XP #9279019 を販売中

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ID: 9279019
Overlay measurement system With SMIF.
KLA/TENCOR 5200XP Wafer Testing and Metrology Equipmentは、半導体デバイス製造業界向けに特別に設計されたハイエンドのウェーハ検査システムです。KLA 5200XPは、高度な光学計測、正確な欠陥検出、および正確な2Dおよび3D測定を提供します。このユニットは、24種類以上の画像処理を迅速に検査し、ナノ欠陥を検出することができます。特許取得済みの設計におけるレーザー干渉計は、非常に精密な光学計測のアライメントと精度を維持するのに役立ち、正確な欠陥検出、3Dプロファイル測定、およびイメージングのための信頼できる基盤を提供します。TENCOR 5200 XPウェーハ試験および計測機械には、クラス1000のクリーンルーム互換環境と最新の5軸スキャンヘッドが装備されており、4つのクオドラント精度スキャンを備えたすべての機能で高速で持続可能なイメージングが可能です。5200XPは、最大300のズームフィールドを備えた強力な顕微鏡を備えており、10nm以下までの機能を効果的に検査およびフォーカスします。コンピュータビジョン技術を活用し、KLA/TENCOR 5200 XPはあらゆるパラメータを最大限の精度で正確に測定します。新しいパターン認識ツールと組み合わせて、KLA 5200 XPは、その統計的正の欠陥(SPD)アルゴリズムを使用して、あらゆる種類の欠陥をすばやく検出して測定することができます。このアセットには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えたハイエンドのソフトウェアスイートも含まれています。ユーザーが調整可能な統計設定と柔軟な検査基準を組み合わせることで、GUIは特定のニーズに合わせてカスタマイズでき、ユーザーにプロセス内の制御を開始から終了まで監視する機能を提供します。さらに、高度にカスタマイズ可能な5200 XPには、リアルタイムの欠陥追跡、ユニークで高度なデータ抽出機能、強力なレポートモジュールが含まれています。TENCOR 5200XPのリアルタイムの画像/データ分析およびレポート機能により、必要に応じて迅速な是正措置が保証されます。KLA/TENCOR 5200XPは、半導体デバイス技術者が必要とするモデルの柔軟性を提供する、操作が簡単かつ強力なツールです。迅速かつ正確な欠陥検出から複数の地形イメージングまで、KLA 5200XPウェーハテストおよび計測機器は、信頼性の高い検査結果を提供するために不可欠なツールです。
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