中古 KLA / TENCOR 5200XP #9230350 を販売中

KLA/TENCOR 5200XPは、半導体デバイスの製造およびインラインプロセスモニタリングにおいて最高レベルの性能と精度を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。KLA 5200XPは、高度な機能により、プロセスおよび製品の特性評価、歩留まり改善、欠陥検出および修正に理想的なプラットフォームを提供します。stage/proberモジュール、scan/inspectモジュール、analyzerモジュールで構成されています。ステージ/プロバーモジュールは、ウェーハをテストするための作業面と、一連の自動ウェーハ処理コンポーネントを提供します。スキャン/検査モジュールは、独自のフェーズドアレイスキャンヘッドを使用して、ウェーハの上面と下面の特徴を正確に測定します。分析モジュールは、統計データと計測データ、および欠陥データ分析を提供します。このユニットは、単一およびパターン化されたデバイスウエハ上の特徴、厚さ、欠陥、および地形を測定することができます。光反射計、静電容量、渦電流、レーザー干渉計、偏光計、反射計など、さまざまな計測に幅広いセンサを内蔵しています。TENCOR 5200 XPには、赤外線（IR）画像解析、高度なイメージングおよびパターン認識機能、ナノスケールの線幅測定のための高度な技術、3Dトポグラフィと線幅測定のための特別なツールなど、幅広い特殊なツールが付属しています。このマシンは汎用性が高く、特定のアプリケーションのニーズに合わせて構成することができます。業界標準のインターフェイスとスケールアビリティで設計されており、外部機器やソフトウェアと簡単に接続できます。それはまた信頼できる、連続的な操作を保障するために高度の信頼性の特徴の範囲と、設計されています。5200 XPは、製品およびプロセス検証に加え、生産および歩留まり改善活動に最適です。これは、業界をリードするカスタマーサポートを提供する経験豊富な専門家チームによって支えられています。これらの機能により、KLA/TENCOR 5200 XPは、効率を高め、歩留まりを改善し、生産コストを削減しようとするメーカーに最適なソリューションです。