中古 KLA / TENCOR 5200XP #9214648 を販売中

KLA/TENCOR 5200XPは、半導体生産における計測と検査の両方の用途のために設計されたウェーハ試験および計測機器です。KLA 5200XPシステムは、高精度および高スループットソリューションの両方が可能で、歩留まりと信頼性を高めるために使用できます。本装置は、飛行時間2次電子や後方散乱電子などの高度なイメージング技術を活用し、高分解能イメージングと高感度欠損検出を実現しています。さらに、deconvolutionアルゴリズムは、より小さな機能と欠陥を識別する機能を提供します。ステップやスキャン、イメージステッチなどの自動アライメントとイメージング機能により、マシンはイメージに必要な総面積を削減しながら、ユーザーのインタラクションを減らすことができます。TENCOR 5200 XPには、自動化された欠陥分類アルゴリズムや、ユーザーが既知の標準と正確に結果を比較できるようにするための参照設計ライブラリなど、画像解析を強化するさまざまな機能も含まれています。さらに、KLA 5200 XPは、光検査システムや第一レベルの欠陥解析システムなどの他のシステムとのインタフェースを通じて、欠陥解析のためのより統合された効率的なワークフローを提供します。このツールはさらに、臨界寸法の測定、CDの均一性、オーバーレイ精度、ライン平坦性など、さまざまなアプリケーションに測定ソリューションを提供します。また、レーザー干渉計も内蔵しており、プロセスのバリエーションに起因する特徴の重要な寸法と層高さの劇的な変化を測定するために使用できます。KLA/TENCOR 5200 XPには複数のステージオートメーションが搭載されているため、アセットをウェーハからウェーハへ高精度かつ高精度に移行できます。5200XPは、優れた解像度イメージング、高度な欠陥検出アルゴリズム、およびオートメーション機能の組み合わせにより、さまざまな用途に適した計測および検査モデルとなっています。他のシステムとのインタフェース機能により、効率的で統合されたワークフローが保証され、ウェーハの全体的な歩留まりと信頼性が向上します。