中古 KLA / TENCOR 5200XP #9167259 を販売中

KLA/TENCOR 5200XPは、KLA 5200シリーズの計測製品とその主力製品である電子後方散乱回折（EBSD）システムの一部であるウェーハ試験および計測機器です。KLA 5200XPは、生産計測環境向けに特別に設計されており、チップやウェーハの厚さ、応力、構造特性を素早く測定する光学計測機能を提供します。高速空間光モジュレータ（SLM）を使用してウェーハ表面に画像を投影・検出し、ウェーハの様々な特性を正確かつ正確に測定することができます。斜めや斜めの光を含む方向光を使用して、臨界領域の測定を改善し、アーチファクトを削減します。ユニットの精度と再現性を高めるために、光源は常にウェーハ表面をスキャンします。TENCOR 5200 XPは最先端のシステム、プロセス、分析を提供し、最高品質のウェーハを保証します。エッチングの深さ、型幅と厚さ、細かい線幅、応力プロファイルなどの重要なパラメータを正確に測定しながら、大きな欠陥や小さな欠陥を自動的に検出して診断することができます。さらに、このマシンは包括的な分析ソフトウェアを提供しており、ユーザーは異常をすばやく検出し、傾向を特定し、欠陥チップやウェーハの根本原因を理解することができます。KLA/TENCOR 5200 XPは、複数のウェーハを一度に測定する4つの独立した測定チャネルを備えた並列テストをサポートするように構築されています。精密で高度な光学アライメントにより、ツールは常に正確なデータを生成し、低消費電力で高い信頼性を保証します。5200 XPは正確な色補正も可能で、色測定の精度が高く、スキャン時間の短縮が可能です。要するに、KLA 5200 XPは、高速生産環境向けに特別に設計された高度なウェーハテストおよび計測資産です。高精度な光学モデル、強力な分析機能、並列測定チャネルにより、正確で正確な測定が可能です。この装置は、エッチング深さ、型幅、応力プロファイルなどの重要な領域を迅速かつ正確に測定することができ、チップおよびウェーハの製造に最適です。