中古 KLA / TENCOR 5200XP #9157118 を販売中

KLA/TENCOR 5200XPは、半導体製造プロセスの精度と精度を提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。ウェーハ表面の欠陥を検出し、測定するために設計された高度なウェーハ検査ツールです。高解像度デジタルカメラと大型自動ビジョンユニット（AVS）を搭載し、試験ウェハの画像を解析し、0。1ミクロンの精度で詳細な計測データを取得します。KLA 5200XPでは、光散乱イメージング（LSI）、反射エネルギーイメージング（REI）、光学輝度イメージング（OBI）など、ウェーハの解析技術を多数採用しています。これらの技術により、高解像度の顕微鏡でもアクセスが困難なウエハ部分の小さな欠陥を検出することができます。また、ウェーハ表面の接点の高さの非常に小さな変化を測定するために使用される技術である接触イメージングもサポートしています。TENCOR 5200 XPでは、欠陥および公差解析や光学パラメータ解析など、さまざまな自動ウェハテストおよび分析ツールを使用しています。これらのツールは、ウェーハ表面欠陥の完全な評価を可能にし、デバイスの適切な機能に対する潜在的な危険性が製造プロセスの前に特定されるようにします。自動化されたツールとして、TENCOR 5200XPは検査プロセスを管理するために必要な人手を削減し、高い精度を維持することができます。クローズドループ製造機能を備えており、施設内の他のシステムの動作を制御することができます。さらに、ウェーハテストおよび計測データの測定および保存に5200XPを使用することができ、現在のプロセスパラメータのより正確な評価を可能にします。要するに、5200 XPはウェーハ表面の正確で高解像度の分析を提供するように設計された汎用性の高いウェーハテストおよび計測資産です。これは、欠陥を検出して測定するためのさまざまな自動テストおよび計測ツールを備えているため、製造プロセスをより大きな制御できます。このモデルには、高度なビジョン技術とクローズドループ製造能力が含まれており、労働力を削減し、精度を最大限に高めます。