中古 KLA / TENCOR 5200XP #9118489 を販売中
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販売された
ID: 9118489
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Overlay measurement system, 8"
Hardware:
Chuck 8"
Autoloader
(2) 8" open cassette load ports
Main VME card cage
Motor VME card cage
Flotation module
LINNIK and KLAASP
Power module
Hardware configuration:
Main console
Handler: dual open cassette
(2) Load ports: 8" open cassette
Signal tower
GEM/SECS
Network
Standard wafers: DSW75.1
Main VME card cage:
CPU board
Memory board
Video (frame grabber) board
I/O board
PZT controller board
Motor VME card cage:
Motor CPU board
Stepper driver board 1-4
Encoder interface board
Stage:
XYT stage
Z Motor
Host chuck
Z PZT
X PZT
Y PZT
PM target
Floatation module:
(4) Isolators
(3) Proximity sensors
PID board
LINNIK and KLAASP:
Arc lamp housing
Dual aperture
LLG
LINNIK camera
PIN diode array
P PZT
Shutter
KLAASP camera
Power module:
Power transformer
AC compartment
Main DC power supply
Arc lamp power supply
Vacuum and pressure air inlet
(3) Vacuums
CDA
Software:
Windows NT 4.0
Software 14.60.02
GEM/SECS
KLASS 4.1.1.1
Computer configurations:
Pentium II 400 MHz CPU
128M Ram
(2) 9G hard drive disk
Floppy drive
CD ROM
Tape driver
Monitor
Thermal printer
Keyboard/track ball
Options: UPS
Facilities:
225VAC, 50/60 Hz input power
25"Hg input vacuum
97-110 PSI input CDA
Manual
1997 vintage.
KLA/TENCOR 5200XPは、パフォーマンスと信頼性を向上させるために設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。半導体デバイスやシリコン、ヒ素ガリウム、薄膜など幅広い材料・基板の開発・生産に不可欠です。KLA 5200XPには、マルチスライスマクロスコーピックイメージングシステム、強力な画像取得および画像処理ユニット、高度な干渉計、および完全にカスタマイズ可能な計測ソフトウェアを含むユニークな特許取得済みの設計アーキテクチャがあります。このツールは、高解像度のイメージングをサポートし、自動サンプルトポグラフィーのプロットやオーバーレイマッピングを含む測定機能を備えています。高画素解像度の2次元欠陥検出アルゴリズムと16ビット信号対ノイズ比、4メガピクセルCCDカメラを使用しています。波面収差とZernike分解も含まれており、表面粗さ、平坦度、パワー、曲率半径、defocus、乱視、傾きなどの要因を測定します。すべてのパラメータは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを介して簡単に設定されます。TENCOR 5200 XPは拡張可能な内部メモリで設計されており、最大30,000枚の画像を保存できます。このデバイスは、外部コンピュータへのデータストリーミングとスタンドアロン操作の両方をサポートしています。また、高度な自動ズーム、パン、傾斜モードを備えたオートフォーカス資産を備えており、最小限の労力でサンプル表示を最適化し、直径10インチまでのサンプルサイズを測定することができます。可変サイズのロボットサンプルトレイにより、設置、クリーニング、メンテナンスが容易であり、高汚染環境の中間レベルまでのドライポンプが含まれています。さらに、5200XPのウェーハテストおよび計測機器には、標準的なIEEE通信だけでなく、ワイヤレス接続、データリンクセキュリティ、リモート、オンライン診断など、さまざまなオプションがあります。KLA/TENCOR 5200 XPは、モバイルデバイスのIC特性評価、故障解析、プロセスのトラブルシューティング、歩留まり解析など、幅広いウェハテストおよび計測アプリケーションに最適です。これは、これまで以上に高速なパフォーマンスと高精度な結果を提供し、比類のないレベルの信頼性で、コストを削減し、デバイスの歩留まりを向上させるのに役立ちます。
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