中古 KLA / TENCOR 5200 #9299363 を販売中

KLA/TENCOR 5200は、高精度、卓越した性能と精度のために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。高度な寸法、インプロセス、ポストプロセスウェーハメトロジーに焦点を当てたKLA 5200は、優れたウェーハフォーカス制御を備え、優れた測定と再現性を提供します。このシステムは、シリコンやヒ素ガリウムなど、さまざまな基板上のナノメーター、サブミクロン、およびミクロンレベルの特徴を測定するように設計されています。また、高解像度、高速イメージング、共焦点顕微鏡機能を幅広く提供しています。TENCOR 5200は重要な特徴、特徴のサイズ、ライン幅、平坦、等のようなさまざまなテストパラメータを、測定し、分析し、点検するためにセンサーおよび調査カードの選択が装備されています。さらに、このユニットは、フォトマスク/ステンシル検査、サイドウォールイメージング、3Dトポグラフィ、薄膜分析など、さまざまなスキャン技術を使用できます。その幅広い構成可能なオプションを使用すると、マシンは、任意の顧客の特定のニーズを満たすためにカスタマイズすることができます。このツールは、測定、スキャン、イメージング、アライメントのための幅広いオプションを提供し、最も複雑な形状や輪郭を測定することができます。5200には、あらゆる種類のウェーハ特性を分析、制御、レポートするための強力なツールセットも装備されています。これにはビジュアルレポート機能が含まれており、エンジニアはテスト結果をユーザーフレンドリーな形式で迅速にレビューおよび分析できます。さらに、この資産にはオートメーションサンプリングプランナーがあり、最も代表的なデータのバッチを定義してキャプチャするのに役立ちます。また、リモート診断機能も備えており、ユーザーは自分のモデルをリモートでトラブルシューティング、診断、制御することができます。KLA/TENCOR 5200は、業界で最も先進的なウェーハテストと計測機能を提供します。卓越した性能、精度、信頼性を備え、精密測定と詳細な分析を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。