中古 KLA / TENCOR 5200 #9233117 を販売中

KLA / TENCOR 5200
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
5200
ID: 9233117
Inspection system.
KLA/TENCOR 5200は、半導体製造用に設計されたウェハテストおよび計測機器です。このシステムは、ウェーハテストのための優れた精度と速度を提供し、市場で入手可能な最先端の計測ユニットです。KLA 5200はコンパクトな設計で、200mmまたは300mmの製造ラインに収まることができます。また、高度なソフトウェアパッケージとハードウェアアーキテクチャを備えており、ウェハサンプリングに優れたパフォーマンスを提供します。シリコン、ヒ素ガリウム、酸化アルミニウムなど複数の基板を同時に試験することができます。TENCOR 5200は、光学散乱計と干渉計を使用して、さまざまなレイヤー、プロセス、ステップにわたるウェーハパラメータを正確に測定します。ウェーハとそれに関連する技術の光学、電気、物理、化学パラメータを測定することができます。その後、ツールによってデータが収集され、品質基準が維持されるように分析されます。5200のオンサイトコンピューティング機能の助けを借りて、資産は、任意の欠陥を洗練するために、ウェーハ、プロセス、または基板にリアルタイム調整を行うことができます。また、ウェーハのパフォーマンスの動的傾向を認識する機能も備えています。KLA/TENCOR 5200は、エクスポート可能な自動計測レポート、欠陥特性を示す透過電子顕微鏡(TEM)画像、ウェーハ材料の断面画像を生成します。KLA 5200は、歩留まり管理の向上、幅広いサポートされているアプリケーション、リモートコントロール機能など、さまざまな利点を提供します。モジュラー設計により、ユーザーは部品を他のメーカーの部品と簡単に交換またはアップグレードすることができます。このモデルは、業界標準のインターフェイスと互換性があり、生産制御およびデータ収集システムと統合することができます。全体として、TENCOR 5200は、多数の機能を提供する高度で信頼性の高いウェーハ試験および計測機器です。多数の基板、レイヤー、プロセスにわたる幅広いパラメータを正確に測定することができ、ウェーハの性能に関する貴重な洞察を提供します。このシステムは、ウェーハとそれに関連する技術を測定、テスト、分析するための迅速かつ正確で信頼性の高い方法をユーザーに提供し、半導体製造のための貴重なツールとなります。
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