中古 KLA / TENCOR 5200 #9006633 を販売中
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KLA/TENCOR 5200は、市場をリードする精度とスループットを提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。このシステムは、幅広い材料にわたる高精度な測定により、強力なウエハレベル分析機能を提供します。クラスをリードする画像キャプチャ、画像解析および処理、産業オートメーション、およびデータ処理機能を備えています。KLA 5200は、最高解像度のフィーチャーサイズを正確に測定できる高解像度ウェハステージを内蔵しています。非視覚測定用の高度なイメージング分光計が組み込まれています。先進的な光学装置により、小さな欠陥に対する感度を向上させ、容易な検出と特性評価を可能にします。このツールの非接触測定技術は、寸法、電気、欠陥、および汚染パラメータを測定します。その高度な画像処理機能は、高精度と信頼性を提供する特定のアプリケーション要件に合わせて調整されています。TENCOR 5200は、ツールシーケンシング、ウェハハンドリング、データ転送アセットなどの高度な産業オートメーション機能を備えています。さらに、このモデルには、自動動作機能を備えたポータブルメカニカルサブシステムが組み込まれています。これにより、機器をさまざまな試験場所に移動する際の最大限の柔軟性をユーザーに提供します。5200の高度なデータ処理機能により、ユーザーはデータを簡単に保存、アクセス、分析できます。また、エッジ決定、フィーチャー検索、欠陥解析など、いくつかのデータ解析パッケージも組み込まれています。KLA/TENCOR 5200は、多くのウェハテストおよび計測アプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供します。堅牢な設計と強力なオートメーション機能により、システムは最も要求の厳しい製造要件を満たすことができます。最高品質と生産スループットを求めるウェーハプロデューサーに最適です。
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