中古 KLA / TENCOR 5200 #293624519 を販売中

製造業者
KLA / TENCOR
モデル
5200
ID: 293624519
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200は、半導体産業の高度なプロセス制御および製品開発に使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。この最先端のユニットは、統合されたテストおよび分析機能を備えており、ウェーハスタートからウェーハ仕上げまでの効率的なウェーハテストを可能にします。WMT (Wafer Matrix Test)ステーション、走査型電子顕微鏡、高度な画像解析ツールを搭載しています。WMTユニットは、単一のウェーハの最大7つの異なるレイヤーの高解像度画像を提供し、迅速な意思決定を可能にします。非破壊検査と高度な画像解析の組み合わせにより、KLA 5200は数分で正確に欠陥を特定できます。この走査型電子顕微鏡は、WMTによって生成された2次元画像で効果的に見ることができるものよりも深い欠陥の存在を検出するために、各層の非常に詳細な3次元画像を提供します。各レイヤーを詳細に解析することで、ナノメートルレベルの構造を正確に識別することができます。統合されたCDS画像解析ソフトウェアは、高度な測定、分析、および欠陥識別機能の完全なスイートを提供します。これにより、ブリッジ欠陥、ライン欠陥、コンタクトホールなどの重要な機能を迅速かつ正確に特定し、ローカライズすることができます。TENCOR 5200は、オペレータがウェーハテストプロセスを完全に制御できるように設計されています。このツールは高度に構成可能であり、オペレータは検査基準を特定の要件に合わせて調整することができます。また、より正確で細かい欠陥検出のための調整可能な感度を備えています。さらに、このアセットには、プロセス全体を合理化するためのパラメーターとアルゴリズムの包括的なライブラリが含まれています。5200はR&Dの実験室および生産の環境の両方のために適しています。自動化された操作により、一貫した信頼性の高い結果とリソースの効率的な利用が保証されます。革新的なハードウェア、高度な画像処理、合理化されたユーザーインターフェイスを組み合わせたKLA/TENCOR 5200は、強力なウェーハテストおよび計測ツールであり、迅速で効果的な意思決定を可能にします。
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