中古 KLA / TENCOR 5200 #293603874 を販売中

KLA/TENCOR 5200自動ウェーハ計測および試験装置は、半導体デバイスの開発と製造を加速するために設計された完全自動計測および試験システムです。集積回路（IC）包装、IC製造および組立、およびダイツウエハ（DTW）試験に最適です。誘電層の厚さ測定、ウェーハ反射率の測定、表面粗さ測定、光学検査、歩留まり向上など、ウェーハレベルの試験において、高いスループット、高精度、信頼性の高い試験および検査機能を提供します。また、銅、銅めっき物質、誘電体、ガラスなど、さまざまな材料の評価にも対応しています。KLA 5200はモジュラーテストと計測ツールで、多数のサブシステムで構成されています。これらのサブシステムは次のとおりです。-Wafer Load Port： Wafer Load Portは、ウェーハをロードおよびアンロードするためのエントリーポイントです。空気圧式ウェハの搬送・搬送ロボット、空力バランスの良いビジョンアセットを備えています。-ウェーハチェンジャーポート：ウェーハチェンジャーポートは、さまざまなサブシステム間でウェーハを移動および保存するために使用されます。-バイアスステーション：バイアスステーションは、高速、高精度のバイアスおよび試験ステーションです。生産歩留まり向上のために、さまざまなウェハレベルのテストと測定を実行するように設計されています。-アライメントステーション：アライメントステーションは、テストと計測の前にウェーハをアライメントし、保護するために使用されます。ステーションはまた、試験および計測プロセスの前にウェーハを保護し、方向付けするために使用されます。-計量ステーション：計量ステーションは、主な試験および計量サブシステムです。これは、正確で再現性が高く信頼性の高いウェーハレベルのテストと測定を提供するように設計されています。-CCDのカメラ：CCDのカメラはウェーハの高性能のイメージ投射そして点検のために使用されます。欠陥認識や分類、細かいウエハパターン解析に最適です。-ウェーハトランスポート：ウェーハトランスポートモデルは、さまざまなサブシステム間でウェーハを移動するために使用されます。一度に最大120個のウェーハを持ち運ぶことができます。上記のサブシステムに加えて、TENCOR 5200には、自動制御とデータ収集のための包括的なソフトウェアスイートも含まれています。このソフトウェアは、システムのセットアップ、ウェハローディング、プロセスパラメータの構成、テスト結果など、機器のすべての側面をウエハ検査、監視、および管理するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを提供します。全体として、5200ウェーハテストおよび計測ユニットは、半導体デバイスの開発と製造のための包括的で高スループット、高精度の試験および計測ソリューションを提供します。絶縁層の厚さ測定、ウェーハ反射率の測定、表面粗さの測定、光学検査、歩留まりの向上を迅速かつ信頼性の高いものにします。