中古 KLA / TENCOR 5200 #293597899 を販売中

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製造業者
KLA / TENCOR
モデル
5200
ID: 293597899
ウェーハサイズ: 8"
Overlay measurement system, 8", parts system.
KLA/TENCOR 5200は、半導体製造業向けに設計されたウェハテストおよび計測機器です。製造工程において、ウェーハのさまざまな非破壊品質保証・制御試験を行うことができる多次元システムです。KLA 5200は光学および干渉測定の技術の組合せを利用して半導体デバイスおよび材料の高精度で、再現可能な測定を提供します。広い視野と調整可能な照明を備えた自動化された多次元イメージングユニットを備えており、ウェーハ機能の正確なアライメントと正確な分析を保証します。さらに、マシンには自動アライメントとキャリブレーション機能があり、ユーザーエラーを低減し、信頼性の高い結果を保証します。TENCOR 5200は、クリティカルなトレンチ幅、クリティカルな直径、クリティカルなコーナー半径など、さまざまなパラメータを測定できます。また、検出する表面欠陥のライブラリと、非標準フィーチャーのパターン認識機能も内蔵しています。このツールには高度なデータ処理機能が装備されており、複数の視点からデータを迅速に分析し、結果を最適化するためにパラメータを手動で調整することができます。データは複数の形式でエクスポートでき、内蔵のイーサネット接続を使用してネットワークまたはインターネット経由で送信できます。5200は、さまざまなアプリケーションで使用できる信頼性が高く正確なウェーハテストおよび計測資産です。これにより、欠陥のウェーハを迅速に検査および分析し、デバイスのパフォーマンスに影響を与える重要なパラメータを測定することができます。これにより、迅速な診断と正確な分析が必要とされるさまざまな半導体製造環境での使用に最適です。
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