中古 KLA / TENCOR 5107 #9117500 を販売中

KLA/TENCOR 5107ウェーハ試験および計測装置は、正確なウェーハ試験および計測のために設計された高度なマルチチャンネルシステムです。このベンチトップユニットは、パターン化されたウェーハ欠陥検査、3D計測、線幅測定、臨界寸法（CD）検査など、幅広い機能を提供します。KLA 5107は、印刷とエッチングの両方のパターンだけでなく、さまざまな材料で1：200を超えるコントラスト対ノイズ比を実現する高解像度イメージングマシンを使用しています。このツールの機能には、モーションコントロール用のデジタルサーボモジュール、強化されたウェハハンドリング用のマルチチャネル統合プラットフォーム、および正確な結果を得るための非常に高速なデータ収集モジュールも含まれます。ウェーハ処理は自動的に行われるため、手動での処理は不要です。TENCOR 5107はまた、分析のための高度なアルゴリズムを備えており、正確な測定を可能にします。その結果、アセットは0。2nmの精度で10nmの小さな欠陥を検出することができます。さらに、最大20nmの精度でパターン配置を測定することができるほか、半導体製造の世界において重要な要素である線幅技術の細部サイズ縮小も可能です。5107には、ウェーハテストと計測に関連する多くのステップを合理化する処理のための高度なオートメーションツールも含まれています。自動化された装置は、単一の操作で測定を検出、複製、分析することができ、手動での処理が不要です。これにより、データ分析に必要な時間と労力を削減し、利用可能な最速の試験および測定システムの1つになります。KLA/TENCOR 5107は、精密ウェハテストおよび計測ニーズに対応する高度なソリューションを提供します。このシステムは、オートメーション、高解像度イメージング、高度な解析ツールの独自の組み合わせにより、ユーザーに高精度で効率的なソリューションを提供します。さらに、マルチチャネル統合ハブと非常に高速なデータ収集モジュールにより、正確なウェーハテストと計測を必要とするあらゆるアプリケーションに最適です。