中古 KLA / TENCOR 5107 #293628543 を販売中

KLA / TENCOR 5107
製造業者
KLA / TENCOR
モデル
5107
ID: 293628543
Inspection system.
KLA/TENCOR 5107ウェハテストおよび計測機器は、自動光学および表面計測技術と精密ウェハテストを組み合わせた革新的なツールです。KLA 5107は、高精度のデジタルカメラ、精密ステージ、および統合された光学イメージングおよび処理アルゴリズムを使用して、画像ベースの表面検査および分析機能を可能にします。TENCOR 5107は高度な画像処理アルゴリズムを備えており、ウェーハの表面を分析する際にこれまでにないレベルのデータ粒度を可能にします。このシステムは、微小欠陥、表面の質感および形状測定、および超高感度ウェハプロセス関連のバリエーションを識別することができます。この精度により、5107は完成品の全体的な品質に大きな影響を与える可能性のあるプロセスの問題を特定することができます。KLA/TENCOR 5107は、0。1ミクロンまでの高速で再現可能な計測分解能、および最大∼5mm x 5mmの視野を提供します。これにより、幅広いウエハサイズと形状をテストおよび評価することができます。さらに、KLA 5107は他のシステムと統合され、追加の統合プロセス制御とデータ同期が可能です。この統合により、ユニットはリアルタイムで継続的に結果を監視および更新することができます。TENCOR 5107は生産ラインおよびR&Dの実験室の使用のために設計されています。どちらの業界でも、ウェーハ品質の正確で再現性が高く、一貫性のある測定が求められるようになり、5107はこのすべてを単一の高性能マシンで実現します。速度、精度、信頼性を兼ね備えたKLA/TENCOR 5107は、ウェーハ計測および試験に最適なツールです。全体として、KLA 5107ウェーハテストおよび計測資産は、ウェーハ品質の迅速かつ正確な測定を望むメーカーや研究室にとっても画期的なソリューションです。TENCOR 5107は、改良されたデータ粒度、視野、プロセス統合、および反復可能な計測を提供する革新的な光学および表面計測技術を組み合わせることにより、自動ウェーハ計測および試験の新しい標準を設定しました。
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