中古 KLA / TENCOR 5107 #146169 を販売中

KLA/TENCOR 5107は、高解像度イメージングとデータ解析を組み合わせてウェーハ表面の物性を測定するウェーハ試験および計測機器です。複数のウェーハの精度を並行して試験・検証することが可能な完全自動化システムであり、欠陥のない材料の製造・分析が可能です。KLA 5107は、複数のレーザービームと光センサーを使用して、ウェハ表面の小さな構造と欠陥の高解像度画像を作成します。高度な画像処理アルゴリズムを使用することで、欠陥やプロセスのバリエーションを示す可能性のあるウェーハの粗さや輪郭の小さな変化を検出して測定することができます。これにより、マシンは問題領域を分離することができ、迅速かつ信頼性の高い欠陥とプロセスの監視を可能にします。TENCOR 5107は、信頼性と正確な結果を提供するだけでなく、優れた速度と柔軟性を提供します。このツールは、0。2ナノメートルの測定値を含むすべてのウェーハ全体を数分以内に測定および分析することができます。これは、さまざまなテストシナリオで使用できるさまざまな交換可能なコンポーネントを備えています。これらのコンポーネントは堅牢であり、大幅な摩耗を経験することなく、長期間にわたって使用することができます。5107出力には、グラフィカルプリント、データベース、ファイルシステムなど、さまざまな形式でアクセスできます。すべてのデータは、エンジニアリングワークステーション、ラボ、またはその他の種類の制御資産に直接エクスポートできます。このモデルはまた、汎用性が高く、さまざまなテストアプリケーションに対応するように構成することができます。結論として、KLA/TENCOR 5107は、高解像度イメージング、洗練された画像処理アルゴリズム、さまざまな交換可能なコンポーネントを組み合わせ、正確かつ正確な結果を迅速かつ柔軟に提供する高度なウェハテストおよび計測機器です。