中古 KLA / TENCOR 5105 #9117501 を販売中

KLA/TENCOR 5105は、精密性能と精度のために設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。これは、個々のウェハマップ上の幅広い計測機能の最も信頼性の高い包括的なレポートを提供します。このシステムは、フィルム応力、地形、電気特性、さまざまなDVDパラメータ、臨界寸法、オーバーレイ、深度プロファイル、サイドウォール角度、表面粗さ、および3D高さイメージなどのパラメータを測定することができます。その高度なソフトウェアソリューションにより、各モジュールのスタートオブラインおよびエンドオブライン要件を考慮して、複数のテクノロジーレベルを見直すことができます。このユニットは、直径3インチまでの複数のウェーハを収容することができる、大規模な測定ゾーンで構築されています。このマシンは最大16個のウェーハを同時に測定できるように設計されており、ユーザーは最大のスループットと歩留まりでデータを収集できます。KLA 5105ツールは、高精度と再現性を提供する高度なドット計測が装備されています。線幅や空間、高さの違い、地形などを高い精度で検出することができます。この資産の特許取得済みスキャンフレームは、迅速かつ正確な測定を保証します。このモデルはモジュラー構成を備えており、ユーザーは監視要件に最適な構成を選択できます。ユーザーは、ウェーハの負荷とアンロードのための手動および自動オプション、自動化された再測定操作、および欠陥解析に関する専門家のアドバイスなどの高度な機能から選択できます。TENCOR 5105装置はユーザーの安全を念頭に置いて設計されています。重要な部品との偶発的な接触から保護するために、トリプル冗長安全システムが装備されています。ユニットはまた、すべてのローカルおよび国際的な安全規制に準拠しています。このマシンは、直感的なメニューを備えたシンプルでユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、ユーザーは利用可能な機能を簡単にナビゲートできます。それはKLAの広範なサービスおよびサポートネットワークによって支えられ、信頼できる性能の保証を提供します。